半导体学报
半導體學報
반도체학보
CHINESE JOURNAL OF SEMICONDUCTORS
2007年
z1期
157-159
,共3页
崔军朋%段垚%王晓峰%曾一平
崔軍朋%段垚%王曉峰%曾一平
최군붕%단요%왕효봉%증일평
m面蓝宝石%ZnO外延薄膜%微米级
m麵藍寶石%ZnO外延薄膜%微米級
m면람보석%ZnO외연박막%미미급
采用自行研制的CVD设备在m面蓝宝石衬底上成功生长了微米级的ZnO外延薄膜.采用X射线衍射(XRD)和双晶X射线摇摆曲线(DXRD)研究了所生长ZnO薄膜的结构特征.利用扫描电子显微镜(SEM)观测了ZnO样品的截面,并测得其厚度.同时利用室温光致发光(PL)谱及霍尔(Hall)测试研究了ZnO外延薄膜的光学性质和电学性质.
採用自行研製的CVD設備在m麵藍寶石襯底上成功生長瞭微米級的ZnO外延薄膜.採用X射線衍射(XRD)和雙晶X射線搖襬麯線(DXRD)研究瞭所生長ZnO薄膜的結構特徵.利用掃描電子顯微鏡(SEM)觀測瞭ZnO樣品的截麵,併測得其厚度.同時利用室溫光緻髮光(PL)譜及霍爾(Hall)測試研究瞭ZnO外延薄膜的光學性質和電學性質.
채용자행연제적CVD설비재m면람보석츤저상성공생장료미미급적ZnO외연박막.채용X사선연사(XRD)화쌍정X사선요파곡선(DXRD)연구료소생장ZnO박막적결구특정.이용소묘전자현미경(SEM)관측료ZnO양품적절면,병측득기후도.동시이용실온광치발광(PL)보급곽이(Hall)측시연구료ZnO외연박막적광학성질화전학성질.
