科学技术与工程
科學技術與工程
과학기술여공정
SCIENCE TECHNOLOGY AND ENGINEERING
2007年
19期
4889-4893
,共5页
李超%王剑%陈才和%许海东
李超%王劍%陳纔和%許海東
리초%왕검%진재화%허해동
光电集成%MOEMS%零差补偿%数字信号处理(DSP)
光電集成%MOEMS%零差補償%數字信號處理(DSP)
광전집성%MOEMS%령차보상%수자신호처리(DSP)
研制出光电集成加速度地震检波器及其数字信号处理系统.该检波器将光波导M-Z干涉仪、十字横梁硅质量块简谐振子、光波导偏振器单片集成在同一硅基底上,并与光源、光电探测器、信号处理电路混合集成.数字信号处理系统以TI公司的高性能数字信号处理(DSP)芯片为核心,辅以必要的电路,实现了对加速度信号的高精度检测和误差信号的补偿.完成了实验样机的研制,测试结果表明主要性能指标达到设计要求.
研製齣光電集成加速度地震檢波器及其數字信號處理繫統.該檢波器將光波導M-Z榦涉儀、十字橫樑硅質量塊簡諧振子、光波導偏振器單片集成在同一硅基底上,併與光源、光電探測器、信號處理電路混閤集成.數字信號處理繫統以TI公司的高性能數字信號處理(DSP)芯片為覈心,輔以必要的電路,實現瞭對加速度信號的高精度檢測和誤差信號的補償.完成瞭實驗樣機的研製,測試結果錶明主要性能指標達到設計要求.
연제출광전집성가속도지진검파기급기수자신호처리계통.해검파기장광파도M-Z간섭의、십자횡량규질량괴간해진자、광파도편진기단편집성재동일규기저상,병여광원、광전탐측기、신호처리전로혼합집성.수자신호처리계통이TI공사적고성능수자신호처리(DSP)심편위핵심,보이필요적전로,실현료대가속도신호적고정도검측화오차신호적보상.완성료실험양궤적연제,측시결과표명주요성능지표체도설계요구.