半导体光电
半導體光電
반도체광전
SEMICONDUCTOR OPTOELECTRONICS
2007年
4期
576-578
,共3页
窦秀明%代作晓%华建文%孙方%龚惠兴
竇秀明%代作曉%華建文%孫方%龔惠興
두수명%대작효%화건문%손방%공혜흥
傅里叶变换光谱仪%同步%偏差%精度
傅裏葉變換光譜儀%同步%偏差%精度
부리협변환광보의%동보%편차%정도
为提高傅里叶变换光谱仪的性能,提出了一种精密的激光干涉信号位置及位置偏差提取方法.正交激光干涉信号经过放大,滤波,整形,成为正交数字信号,判向后在可逆计数器实时计数,DSP每隔固定时间读取一次计数器的值,获得位置信号.利用同步脉冲获得实际位置值,并将原误差减小后转移到参考位置值,使位置偏差的精度大大提高,相应提高了控制精度,同时使得实际位置的测量误差达到纳米级.
為提高傅裏葉變換光譜儀的性能,提齣瞭一種精密的激光榦涉信號位置及位置偏差提取方法.正交激光榦涉信號經過放大,濾波,整形,成為正交數字信號,判嚮後在可逆計數器實時計數,DSP每隔固定時間讀取一次計數器的值,穫得位置信號.利用同步脈遲穫得實際位置值,併將原誤差減小後轉移到參攷位置值,使位置偏差的精度大大提高,相應提高瞭控製精度,同時使得實際位置的測量誤差達到納米級.
위제고부리협변환광보의적성능,제출료일충정밀적격광간섭신호위치급위치편차제취방법.정교격광간섭신호경과방대,려파,정형,성위정교수자신호,판향후재가역계수기실시계수,DSP매격고정시간독취일차계수기적치,획득위치신호.이용동보맥충획득실제위치치,병장원오차감소후전이도삼고위치치,사위치편차적정도대대제고,상응제고료공제정도,동시사득실제위치적측량오차체도납미급.
