人工晶体学报
人工晶體學報
인공정체학보
2007年
4期
828-831
,共4页
冉祎%兰天石%覃攀%戴晓雁%印永祥
冉祎%蘭天石%覃攀%戴曉雁%印永祥
염의%란천석%담반%대효안%인영상
多晶硅%等离子体%四氯化硅%一步法%西门子法
多晶硅%等離子體%四氯化硅%一步法%西門子法
다정규%등리자체%사록화규%일보법%서문자법
区别于改良西门子法、硅烷法、碳热还原法、区域熔炼法等多晶硅生产工艺,利用等离子体技术,建立了以硅的氯化物为原料,一步法制备多晶硅的实验装置和工艺流程,并在此基础上进行了粒状多晶硅制备的实验.实验表明,SiCl4单程转化率超过70%,多晶硅选择性60%.利用XRD、SEM、AS等分析手段,对所得产物进行了表征.与纯度为7个9的多晶硅标样的比较表明,实验产物达到了太阳能级.此方法为多晶硅生产极大地放宽了原料选择条件,为低成本生产太阳能级多晶硅提供了一种新的途径.
區彆于改良西門子法、硅烷法、碳熱還原法、區域鎔煉法等多晶硅生產工藝,利用等離子體技術,建立瞭以硅的氯化物為原料,一步法製備多晶硅的實驗裝置和工藝流程,併在此基礎上進行瞭粒狀多晶硅製備的實驗.實驗錶明,SiCl4單程轉化率超過70%,多晶硅選擇性60%.利用XRD、SEM、AS等分析手段,對所得產物進行瞭錶徵.與純度為7箇9的多晶硅標樣的比較錶明,實驗產物達到瞭太暘能級.此方法為多晶硅生產極大地放寬瞭原料選擇條件,為低成本生產太暘能級多晶硅提供瞭一種新的途徑.
구별우개량서문자법、규완법、탄열환원법、구역용련법등다정규생산공예,이용등리자체기술,건립료이규적록화물위원료,일보법제비다정규적실험장치화공예류정,병재차기출상진행료립상다정규제비적실험.실험표명,SiCl4단정전화솔초과70%,다정규선택성60%.이용XRD、SEM、AS등분석수단,대소득산물진행료표정.여순도위7개9적다정규표양적비교표명,실험산물체도료태양능급.차방법위다정규생산겁대지방관료원료선택조건,위저성본생산태양능급다정규제공료일충신적도경.
