贵州大学学报（自然科学版）
貴州大學學報（自然科學版）
귀주대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF GUIZHOU UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE)
2007年
1期
68-70,86
,共4页
余平%任雪勇%肖清泉%张晋敏
餘平%任雪勇%肖清泉%張晉敏
여평%임설용%초청천%장진민
磁控溅射%薄膜%椭偏仪
磁控濺射%薄膜%橢偏儀
자공천사%박막%타편의
利用JGP-560CⅧ型带空气锁的超高真空多功能溅射系统在Si(100)和玻璃基底上沉积了介质薄膜、半导体薄膜、金属薄膜和磁性薄膜,通过实验研究得到各种薄膜较好的镀膜条件;并采用可变入射角椭圆偏振光谱仪对其中一些薄膜的光学性质进行了分析,研究了制备条件对薄膜在可见光范围内光学性质的影响;我们还研究了直流溅射、射频溅射、反应溅射的特点和它们的适用范围.
利用JGP-560CⅧ型帶空氣鎖的超高真空多功能濺射繫統在Si(100)和玻璃基底上沉積瞭介質薄膜、半導體薄膜、金屬薄膜和磁性薄膜,通過實驗研究得到各種薄膜較好的鍍膜條件;併採用可變入射角橢圓偏振光譜儀對其中一些薄膜的光學性質進行瞭分析,研究瞭製備條件對薄膜在可見光範圍內光學性質的影響;我們還研究瞭直流濺射、射頻濺射、反應濺射的特點和它們的適用範圍.
이용JGP-560CⅧ형대공기쇄적초고진공다공능천사계통재Si(100)화파리기저상침적료개질박막、반도체박막、금속박막화자성박막,통과실험연구득도각충박막교호적도막조건;병채용가변입사각타원편진광보의대기중일사박막적광학성질진행료분석,연구료제비조건대박막재가견광범위내광학성질적영향;아문환연구료직류천사、사빈천사、반응천사적특점화타문적괄용범위.
