过程工程学报
過程工程學報
과정공정학보
The Chinese Journal of Process Engineering
2006年
z2期
173-178
,共6页
微颗粒%磁控溅射%金属膜%表面形貌
微顆粒%磁控濺射%金屬膜%錶麵形貌
미과립%자공천사%금속막%표면형모
采用磁控溅射方法,开展了在微颗粒表面镀金属膜的实验研究.研究开发了一种在微颗粒表面真空镀金属膜的方法及设备,微颗粒包括空心微珠、不同粒度的碳化硅微粉等,所镀的金属包括铝、银、铜、钴、镍等.实验与分析结果表明,通过控制微颗粒的运动方式,采用磁控溅射镀金属膜,可以在微颗粒表面镀上均匀性好、附着力强和致密性好的金属膜.
採用磁控濺射方法,開展瞭在微顆粒錶麵鍍金屬膜的實驗研究.研究開髮瞭一種在微顆粒錶麵真空鍍金屬膜的方法及設備,微顆粒包括空心微珠、不同粒度的碳化硅微粉等,所鍍的金屬包括鋁、銀、銅、鈷、鎳等.實驗與分析結果錶明,通過控製微顆粒的運動方式,採用磁控濺射鍍金屬膜,可以在微顆粒錶麵鍍上均勻性好、附著力彊和緻密性好的金屬膜.
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