光电工程
光電工程
광전공정
OPTO-ELECTRONIC ENGINEERING
2006年
1期
10-13
,共4页
祝安定%刘宇翔%郭锐%肖诗洲%黄文浩
祝安定%劉宇翔%郭銳%肖詩洲%黃文浩
축안정%류우상%곽예%초시주%황문호
微型转子%激光加工%光驱动%光致旋转
微型轉子%激光加工%光驅動%光緻鏇轉
미형전자%격광가공%광구동%광치선전
利用单束强聚焦激光产生的光学力可以驱动微型器件,具有无机械接触和无需导线等优点,为微型机电系统提供了一种新型的驱动方式.在自行研制的飞秒激光微细加工系统中,采用一种新型的丙烯酸酯紫外光固化树脂,通过双光子聚合加工出直径6(m的万字形微转子.利用光镊装置实现了微转子的俘获,并在激光功率50mW时实现了转速为200rpm的光致旋转.微型转子的光致旋转为实现微机械马达提供了一种有效手段.
利用單束彊聚焦激光產生的光學力可以驅動微型器件,具有無機械接觸和無需導線等優點,為微型機電繫統提供瞭一種新型的驅動方式.在自行研製的飛秒激光微細加工繫統中,採用一種新型的丙烯痠酯紫外光固化樹脂,通過雙光子聚閤加工齣直徑6(m的萬字形微轉子.利用光鑷裝置實現瞭微轉子的俘穫,併在激光功率50mW時實現瞭轉速為200rpm的光緻鏇轉.微型轉子的光緻鏇轉為實現微機械馬達提供瞭一種有效手段.
이용단속강취초격광산생적광학력가이구동미형기건,구유무궤계접촉화무수도선등우점,위미형궤전계통제공료일충신형적구동방식.재자행연제적비초격광미세가공계통중,채용일충신형적병희산지자외광고화수지,통과쌍광자취합가공출직경6(m적만자형미전자.이용광섭장치실현료미전자적부획,병재격광공솔50mW시실현료전속위200rpm적광치선전.미형전자적광치선전위실현미궤계마체제공료일충유효수단.
