物理学报
物理學報
물이학보
2003年
6期
1479-1483
,共5页
金刚石膜%化学气相沉积%x射线掠入射%正电子湮没谱
金剛石膜%化學氣相沉積%x射線掠入射%正電子湮沒譜
금강석막%화학기상침적%x사선략입사%정전자인몰보
利用x射线广角衍射和低角掠入射散射谱、正电子湮没谱、定性分析软件和Positronfit程序,研究了生长在Si(100)基底上的金刚石膜微结构.研究发现,在样品邻近基底区域为纳米多晶结构,具有弱的[111]织构;在邻近表面区域为微米多晶结构,具有强的[220]织构.金刚石膜样品有空位、空位团和空洞3种缺陷,其中主要缺陷是大约10个空位形成的空位团.
利用x射線廣角衍射和低角掠入射散射譜、正電子湮沒譜、定性分析軟件和Positronfit程序,研究瞭生長在Si(100)基底上的金剛石膜微結構.研究髮現,在樣品鄰近基底區域為納米多晶結構,具有弱的[111]織構;在鄰近錶麵區域為微米多晶結構,具有彊的[220]織構.金剛石膜樣品有空位、空位糰和空洞3種缺陷,其中主要缺陷是大約10箇空位形成的空位糰.
이용x사선엄각연사화저각략입사산사보、정전자인몰보、정성분석연건화Positronfit정서,연구료생장재Si(100)기저상적금강석막미결구.연구발현,재양품린근기저구역위납미다정결구,구유약적[111]직구;재린근표면구역위미미다정결구,구유강적[220]직구.금강석막양품유공위、공위단화공동3충결함,기중주요결함시대약10개공위형성적공위단.
