稀有金属
稀有金屬
희유금속
CHINESE JOURNAL OF RARE METALS
2001年
1期
78-80
,共3页
王武育%孙平%代桂君
王武育%孫平%代桂君
왕무육%손평%대계군
氟化镁%薄膜%耐磨性
氟化鎂%薄膜%耐磨性
불화미%박막%내마성
分析了氟化镁单晶体与多晶体成膜过程的行为，得出了二者不同的聚集方式是造成薄膜耐磨性差异的原因这一结论。给出了改善单晶氟化镁耐磨性的最佳退火条件：350℃退火 2 h。
分析瞭氟化鎂單晶體與多晶體成膜過程的行為，得齣瞭二者不同的聚集方式是造成薄膜耐磨性差異的原因這一結論。給齣瞭改善單晶氟化鎂耐磨性的最佳退火條件：350℃退火 2 h。
분석료불화미단정체여다정체성막과정적행위，득출료이자불동적취집방식시조성박막내마성차이적원인저일결론。급출료개선단정불화미내마성적최가퇴화조건：350℃퇴화 2 h。
The depositing behaviors of MgF2 monocrystal and MgF2 polycrystal were analyzed. It was concluded that the different packing patterns of two materials result in different wear-resistance of films. The best annealing condition to improve the wear-resistance of films deposited with monocrystals is that the films are annealed at 350℃ for 2 h.
