稀有金属
稀有金屬
희유금속
CHINESE JOURNAL OF RARE METALS
2000年
6期
470-473
,共4页
王小平%刘援%王霈文%冯稷%林晨光%华志强%张朝兴
王小平%劉援%王霈文%馮稷%林晨光%華誌彊%張朝興
왕소평%류원%왕패문%풍직%림신광%화지강%장조흥
磁控溅射%双面超导薄膜%性能%微结构
磁控濺射%雙麵超導薄膜%性能%微結構
자공천사%쌍면초도박막%성능%미결구
采用大直径中空柱状阴极磁控溅射装置和筒形加热器制备了高质量 YBa2Cu3O7-x 双面超导薄膜.使用衬底为(001) LaAlO3 和 (001) YSZ.双面超导薄膜零电阻温度 TC=89～91K,临界电流密度 JC≥106A/cm2(77K,零场下),微波表面电阻 RS＜1 mΩ(77K,10GHz).对不同氧氩比下制备的双面膜进行了性能的比较.当 O2:Ar=1:2.5,衬底温度在 800℃时,制备出了高质量的双面超导薄膜.同时对双面超导薄膜进行了微结构分析.用制备的 25mm×20mm 双面膜研制成功中频滤波器,中心频率为1.06 GHz 时,插损为 0.67 dB.
採用大直徑中空柱狀陰極磁控濺射裝置和筒形加熱器製備瞭高質量 YBa2Cu3O7-x 雙麵超導薄膜.使用襯底為(001) LaAlO3 和 (001) YSZ.雙麵超導薄膜零電阻溫度 TC=89～91K,臨界電流密度 JC≥106A/cm2(77K,零場下),微波錶麵電阻 RS＜1 mΩ(77K,10GHz).對不同氧氬比下製備的雙麵膜進行瞭性能的比較.噹 O2:Ar=1:2.5,襯底溫度在 800℃時,製備齣瞭高質量的雙麵超導薄膜.同時對雙麵超導薄膜進行瞭微結構分析.用製備的 25mm×20mm 雙麵膜研製成功中頻濾波器,中心頻率為1.06 GHz 時,插損為 0.67 dB.
채용대직경중공주상음겁자공천사장치화통형가열기제비료고질량 YBa2Cu3O7-x 쌍면초도박막.사용츤저위(001) LaAlO3 화 (001) YSZ.쌍면초도박막령전조온도 TC=89～91K,림계전류밀도 JC≥106A/cm2(77K,령장하),미파표면전조 RS＜1 mΩ(77K,10GHz).대불동양아비하제비적쌍면막진행료성능적비교.당 O2:Ar=1:2.5,츤저온도재 800℃시,제비출료고질량적쌍면초도박막.동시대쌍면초도박막진행료미결구분석.용제비적 25mm×20mm 쌍면막연제성공중빈려파기,중심빈솔위1.06 GHz 시,삽손위 0.67 dB.
