压电与声光
壓電與聲光
압전여성광
PIEZOELECTRICS & ACOUSTOOPTICS
1999年
5期
360-362
,共3页
董蜀湘%王树昕%邱海波%李龙土
董蜀湘%王樹昕%邱海波%李龍土
동촉상%왕수흔%구해파%리룡토
微动台%压电超声马达%精密控制
微動檯%壓電超聲馬達%精密控製
미동태%압전초성마체%정밀공제
发展了一种采用压电超声微马达精密驱动控制的二维微动台及其控制电路.利用压电超声马达的低速、大扭矩、高分辨率特性,直接驱动微动台的微调旋钮,可获得很高的位移分辨率和大的驱动力.利用一个单片机控制系统,通过对超声马达驱动信号的斩波控制实现了微动台步进位移的连续调整.已研制的二维微动台,采用一对直径为15mm,长25mm的压电超声微马达作为驱动控制元件,已获得12nm的位移分辨率和10N的驱动力.该二维微动台已成功地应用于激光谐振腔腔镜的微调机构.
髮展瞭一種採用壓電超聲微馬達精密驅動控製的二維微動檯及其控製電路.利用壓電超聲馬達的低速、大扭矩、高分辨率特性,直接驅動微動檯的微調鏇鈕,可穫得很高的位移分辨率和大的驅動力.利用一箇單片機控製繫統,通過對超聲馬達驅動信號的斬波控製實現瞭微動檯步進位移的連續調整.已研製的二維微動檯,採用一對直徑為15mm,長25mm的壓電超聲微馬達作為驅動控製元件,已穫得12nm的位移分辨率和10N的驅動力.該二維微動檯已成功地應用于激光諧振腔腔鏡的微調機構.
발전료일충채용압전초성미마체정밀구동공제적이유미동태급기공제전로.이용압전초성마체적저속、대뉴구、고분변솔특성,직접구동미동태적미조선뉴,가획득흔고적위이분변솔화대적구동력.이용일개단편궤공제계통,통과대초성마체구동신호적참파공제실현료미동태보진위이적련속조정.이연제적이유미동태,채용일대직경위15mm,장25mm적압전초성미마체작위구동공제원건,이획득12nm적위이분변솔화10N적구동력.해이유미동태이성공지응용우격광해진강강경적미조궤구.
