物理学报
物理學報
물이학보
2000年
5期
1019-1022
,共4页
刘宁宁%孙甲明%潘少华%陈正豪%王荣平%师文生%王晓光
劉寧寧%孫甲明%潘少華%陳正豪%王榮平%師文生%王曉光
류저저%손갑명%반소화%진정호%왕영평%사문생%왕효광
用磁控溅射方法在玻璃基底上制备了非晶Si/SiO2超晶格.利用透射电子显微镜 (TEM) 和X射线衍射技术对其结构进行了分析,结果表明,超晶格中Si层大部分区域为非晶相,局域微区呈现有序结构,其厚度由1.8-3.2nm变化,SiO2层厚度为4.0nm.并采用多种光谱测量技术,如吸收光谱、光致发光光谱和Raman光谱技术,对该结构的光学性质进行了系统研究.结果表明,随纳米Si层厚度的减小,光学吸收边以及光致荧光峰发生明显蓝移,Raman峰发生展宽,即观测到明显的量子尺寸效应.
用磁控濺射方法在玻璃基底上製備瞭非晶Si/SiO2超晶格.利用透射電子顯微鏡 (TEM) 和X射線衍射技術對其結構進行瞭分析,結果錶明,超晶格中Si層大部分區域為非晶相,跼域微區呈現有序結構,其厚度由1.8-3.2nm變化,SiO2層厚度為4.0nm.併採用多種光譜測量技術,如吸收光譜、光緻髮光光譜和Raman光譜技術,對該結構的光學性質進行瞭繫統研究.結果錶明,隨納米Si層厚度的減小,光學吸收邊以及光緻熒光峰髮生明顯藍移,Raman峰髮生展寬,即觀測到明顯的量子呎吋效應.
용자공천사방법재파리기저상제비료비정Si/SiO2초정격.이용투사전자현미경 (TEM) 화X사선연사기술대기결구진행료분석,결과표명,초정격중Si층대부분구역위비정상,국역미구정현유서결구,기후도유1.8-3.2nm변화,SiO2층후도위4.0nm.병채용다충광보측량기술,여흡수광보、광치발광광보화Raman광보기술,대해결구적광학성질진행료계통연구.결과표명,수납미Si층후도적감소,광학흡수변이급광치형광봉발생명현람이,Raman봉발생전관,즉관측도명현적양자척촌효응.
