激光技术
激光技術
격광기술
LASER TECHNOLOGY
2003年
2期
94-96,112
,共4页
刘细成%王植恒%廖清君%赖成军
劉細成%王植恆%廖清君%賴成軍
류세성%왕식항%료청군%뢰성군
透射光谱%模拟退火%薄膜%光学常数
透射光譜%模擬退火%薄膜%光學常數
투사광보%모의퇴화%박막%광학상수
提出了用透射光谱曲线和模拟退火算法同时确定薄膜材料折射率n、消光系数k及薄膜厚度d的方法,并给出了严格的理论公式和计算程序框架图.为了验证此方法的准确性和可行性,先进行了计算模拟,然后对SiNx薄膜进行了测量.模拟结果与理论值非常接近,根据实验结果恢复出来的曲线与原始实验曲线吻合得很好.此方法具有非破坏性、测量简单、操作方便、稳定性好和计算收敛速度快、精度高等特点.
提齣瞭用透射光譜麯線和模擬退火算法同時確定薄膜材料摺射率n、消光繫數k及薄膜厚度d的方法,併給齣瞭嚴格的理論公式和計算程序框架圖.為瞭驗證此方法的準確性和可行性,先進行瞭計算模擬,然後對SiNx薄膜進行瞭測量.模擬結果與理論值非常接近,根據實驗結果恢複齣來的麯線與原始實驗麯線吻閤得很好.此方法具有非破壞性、測量簡單、操作方便、穩定性好和計算收斂速度快、精度高等特點.
제출료용투사광보곡선화모의퇴화산법동시학정박막재료절사솔n、소광계수k급박막후도d적방법,병급출료엄격적이론공식화계산정서광가도.위료험증차방법적준학성화가행성,선진행료계산모의,연후대SiNx박막진행료측량.모의결과여이론치비상접근,근거실험결과회복출래적곡선여원시실험곡선문합득흔호.차방법구유비파배성、측량간단、조작방편、은정성호화계산수렴속도쾌、정도고등특점.
