光学技术
光學技術
광학기술
OPTICAL TECHNOLOGY
2003年
1期
13-16,20
,共5页
史俊锋%惠梅%王东生%毛文炜
史俊鋒%惠梅%王東生%毛文煒
사준봉%혜매%왕동생%모문위
微型光机电系统%微型光谱仪%芯片系统
微型光機電繫統%微型光譜儀%芯片繫統
미형광궤전계통%미형광보의%심편계통
和传统光谱仪相比,微型光谱仪的分辨率较低,但由于它体较小、价格便宜等优点广泛应用于许多测量、控制领域.讨论了微型光谱仪结构特点、关键技术和发展趋势;对多种微型光谱仪的工作原理和相应的工艺流程做了较为详细的总结;结合国内微型光机电系统制作工艺,分析了几类微型光谱仪的制作难点及其设计方案的可行性.探讨了在分辨率要求不太高的情况下微型光谱仪的多个潜在应用领域.
和傳統光譜儀相比,微型光譜儀的分辨率較低,但由于它體較小、價格便宜等優點廣汎應用于許多測量、控製領域.討論瞭微型光譜儀結構特點、關鍵技術和髮展趨勢;對多種微型光譜儀的工作原理和相應的工藝流程做瞭較為詳細的總結;結閤國內微型光機電繫統製作工藝,分析瞭幾類微型光譜儀的製作難點及其設計方案的可行性.探討瞭在分辨率要求不太高的情況下微型光譜儀的多箇潛在應用領域.
화전통광보의상비,미형광보의적분변솔교저,단유우타체교소、개격편의등우점엄범응용우허다측량、공제영역.토론료미형광보의결구특점、관건기술화발전추세;대다충미형광보의적공작원리화상응적공예류정주료교위상세적총결;결합국내미형광궤전계통제작공예,분석료궤류미형광보의적제작난점급기설계방안적가행성.탐토료재분변솔요구불태고적정황하미형광보의적다개잠재응용영역.
