电子学报
電子學報
전자학보
ACTA ELECTRONICA SINICA
2002年
9期
1308-1312
,共5页
射频微机电系统%部分元等效电路法%电感矩阵%电容矩阵
射頻微機電繫統%部分元等效電路法%電感矩陣%電容矩陣
사빈미궤전계통%부분원등효전로법%전감구진%전용구진
本文扩展了部分元等效电路(PEEC)法来分析RF-MEMS电感的三维结构衬底耦合.将电边界条件引入PEEC法中,从而得到包含了衬底耦合的电容矩阵;通过电荷源等效使得在部分元的计算中能应用均匀介质空间的格林函数;应用合适的网格单元尺寸而引入电磁场滞后效应,使得在较大尺寸器件和较高频段时仍能保证PEEC法的高精度.这些改进降低了分析的复杂度和计算量,并保持了高精度.根据该方法编制的程序的数值结果与已发表的实验数据吻合得很好.
本文擴展瞭部分元等效電路(PEEC)法來分析RF-MEMS電感的三維結構襯底耦閤.將電邊界條件引入PEEC法中,從而得到包含瞭襯底耦閤的電容矩陣;通過電荷源等效使得在部分元的計算中能應用均勻介質空間的格林函數;應用閤適的網格單元呎吋而引入電磁場滯後效應,使得在較大呎吋器件和較高頻段時仍能保證PEEC法的高精度.這些改進降低瞭分析的複雜度和計算量,併保持瞭高精度.根據該方法編製的程序的數值結果與已髮錶的實驗數據吻閤得很好.
본문확전료부분원등효전로(PEEC)법래분석RF-MEMS전감적삼유결구츤저우합.장전변계조건인입PEEC법중,종이득도포함료츤저우합적전용구진;통과전하원등효사득재부분원적계산중능응용균균개질공간적격림함수;응용합괄적망격단원척촌이인입전자장체후효응,사득재교대척촌기건화교고빈단시잉능보증PEEC법적고정도.저사개진강저료분석적복잡도화계산량,병보지료고정도.근거해방법편제적정서적수치결과여이발표적실험수거문합득흔호.
