光电工程
光電工程
광전공정
OPTO-ELECTRONIC ENGINEERING
2002年
5期
37-41
,共5页
田云辉%王世华%张涛%周肇飞
田雲輝%王世華%張濤%週肇飛
전운휘%왕세화%장도%주조비
光干涉法%变形测量%微加速度计%机械零部件
光榦涉法%變形測量%微加速度計%機械零部件
광간섭법%변형측량%미가속도계%궤계령부건
介绍了用光干涉法测量微加速度计零件变形的研究.将准直单色光投射入由一玻璃片和被测件之间形成的空气楔中,被测件表面和玻璃片底面反射的光发生干涉,由面阵CCD接收.用快速傅立叶变换 (FFT)图像处理方法得到被测微悬臂梁的三维形变图.该方法可对微小器件的微位移作分辨力为 10nm的测量,并直观的显示测量结果.
介紹瞭用光榦涉法測量微加速度計零件變形的研究.將準直單色光投射入由一玻璃片和被測件之間形成的空氣楔中,被測件錶麵和玻璃片底麵反射的光髮生榦涉,由麵陣CCD接收.用快速傅立葉變換 (FFT)圖像處理方法得到被測微懸臂樑的三維形變圖.該方法可對微小器件的微位移作分辨力為 10nm的測量,併直觀的顯示測量結果.
개소료용광간섭법측량미가속도계령건변형적연구.장준직단색광투사입유일파리편화피측건지간형성적공기설중,피측건표면화파리편저면반사적광발생간섭,유면진CCD접수.용쾌속부립협변환 (FFT)도상처리방법득도피측미현비량적삼유형변도.해방법가대미소기건적미위이작분변력위 10nm적측량,병직관적현시측량결과.
