仪器仪表学报
儀器儀錶學報
의기의표학보
CHINESE JOURNAL OF SCIENTIFIC INSTRUMENT
2002年
3期
268-270
,共3页
黄梅珍%林斌%唐九耀%郑明学%陈钰清%曹向群
黃梅珍%林斌%唐九耀%鄭明學%陳鈺清%曹嚮群
황매진%림빈%당구요%정명학%진옥청%조향군
四边形电极结构%PSD%位置测量误差%线性度%修正因子
四邊形電極結構%PSD%位置測量誤差%線性度%脩正因子
사변형전겁결구%PSD%위치측량오차%선성도%수정인자
在对单表面分流四边形电极结构二维PSD的非线性及失真进行理论分析的基础上[1],从理论上计算得到了这种结构PSD的位置修正因子,并提出了一种对这种结构PSD的位置非线性进行修正的方法.初步实验取得了非常满意的结果:经过修正后,在较大尺寸(13mm×13mm)器件上实现了60%光敏面范围内的位置非线性均方根误差0.15%,位置检测均方根误差从原来的±1010μm减小到±20μm.最大误差从±1500μm下降到±50μm.由于进行了归一化处理,该方法适用于这种结构不同尺寸的PSD,特别具有实用意义.
在對單錶麵分流四邊形電極結構二維PSD的非線性及失真進行理論分析的基礎上[1],從理論上計算得到瞭這種結構PSD的位置脩正因子,併提齣瞭一種對這種結構PSD的位置非線性進行脩正的方法.初步實驗取得瞭非常滿意的結果:經過脩正後,在較大呎吋(13mm×13mm)器件上實現瞭60%光敏麵範圍內的位置非線性均方根誤差0.15%,位置檢測均方根誤差從原來的±1010μm減小到±20μm.最大誤差從±1500μm下降到±50μm.由于進行瞭歸一化處理,該方法適用于這種結構不同呎吋的PSD,特彆具有實用意義.
재대단표면분류사변형전겁결구이유PSD적비선성급실진진행이론분석적기출상[1],종이론상계산득도료저충결구PSD적위치수정인자,병제출료일충대저충결구PSD적위치비선성진행수정적방법.초보실험취득료비상만의적결과:경과수정후,재교대척촌(13mm×13mm)기건상실현료60%광민면범위내적위치비선성균방근오차0.15%,위치검측균방근오차종원래적±1010μm감소도±20μm.최대오차종±1500μm하강도±50μm.유우진행료귀일화처리,해방법괄용우저충결구불동척촌적PSD,특별구유실용의의.
