强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2002年
3期
385-388
,共4页
王占山%吴永刚%唐伟星%秦树基%周斌%陈玲燕
王佔山%吳永剛%唐偉星%秦樹基%週斌%陳玲燕
왕점산%오영강%당위성%진수기%주빈%진령연
软X射线%多层膜%衰减膜
軟X射線%多層膜%衰減膜
연X사선%다층막%쇠감막
采用随机数的方法,发展了一种普适的多层膜设计方法,这种方法除可设计一 般的周期多层膜,更重要的是它可以根据选定的评价因子,设计不同要求的非周期多层膜.用磁控溅射方法完 成软X射线多层膜制备,X射线衍射、卢瑟福背散射、俄歇电子谱和反射率的相对测试用来表征多层膜结构和特性,所 得结果说明多层膜的结构完整,周期参数正确.用离子束溅射方法成功地制备了有一定反射率和透过率的软X射线 半反半透分束镜;分析了Ag和Zr衰减膜中的杂质含量与分布及其对衰减膜特性的影响,并对衰减系数进行了修正,为实验提供优质的衰减膜.
採用隨機數的方法,髮展瞭一種普適的多層膜設計方法,這種方法除可設計一 般的週期多層膜,更重要的是它可以根據選定的評價因子,設計不同要求的非週期多層膜.用磁控濺射方法完 成軟X射線多層膜製備,X射線衍射、盧瑟福揹散射、俄歇電子譜和反射率的相對測試用來錶徵多層膜結構和特性,所 得結果說明多層膜的結構完整,週期參數正確.用離子束濺射方法成功地製備瞭有一定反射率和透過率的軟X射線 半反半透分束鏡;分析瞭Ag和Zr衰減膜中的雜質含量與分佈及其對衰減膜特性的影響,併對衰減繫數進行瞭脩正,為實驗提供優質的衰減膜.
채용수궤수적방법,발전료일충보괄적다층막설계방법,저충방법제가설계일 반적주기다층막,경중요적시타가이근거선정적평개인자,설계불동요구적비주기다층막.용자공천사방법완 성연X사선다층막제비,X사선연사、로슬복배산사、아헐전자보화반사솔적상대측시용래표정다층막결구화특성,소 득결과설명다층막적결구완정,주기삼수정학.용리자속천사방법성공지제비료유일정반사솔화투과솔적연X사선 반반반투분속경;분석료Ag화Zr쇠감막중적잡질함량여분포급기대쇠감막특성적영향,병대쇠감계수진행료수정,위실험제공우질적쇠감막.
