基于SOI的光波导和V形槽集成器件
기우SOI적광파도화V형조집성기건
V groove integrated with optical waveguide based on SOI
  • 万方数据
    光通信研究 광통신연구
    STUDY ON OPTICAL COMMUNICATIONS
    2003年 4期 55-57，60 ,共4页

    程振杰%彭治林

    정진걸%팽치림

    SOI%光波导%Y分支器%V形槽 SOI%光波導%Y分支器%V形槽
    SOI%광파도%Y분지기%V형조
    文章介绍了一种基于SOI的集成半导体器件. 设计了5 μm×5 μm的单模光波导, 并用APSS软件进行了光场模式分析; 利用KOH各向异性腐蚀制造了直的脊波导、Y分支器和V形槽; 最后, 利用紫外光敏胶将波导和光纤固定.
    문장개소료일충기우SOI적집성반도체기건. 설계료5 μm×5 μm적단모광파도, 병용APSS연건진행료광장모식분석; 이용KOH각향이성부식제조료직적척파도、Y분지기화V형조; 최후, 이용자외광민효장파도화광섬고정.
    원문보기 원문다운로드 사이트로이동
저자의 최근 논문