光学技术
光學技術
광학기술
OPTICAL TECHNOLOGY
2005年
1期
84-86,89
,共4页
陶忠祥%林明秀%王英霞%宋建中
陶忠祥%林明秀%王英霞%宋建中
도충상%림명수%왕영하%송건중
电阻率%PSD%数值方法%Lucovsky方程
電阻率%PSD%數值方法%Lucovsky方程
전조솔%PSD%수치방법%Lucovsky방정
采用数值方法对光敏层电阻率的非均匀分布及对位置敏感探测器(PSD)的影响进行了研究,结果显示,在现有的制作工艺保障最大电阻率变化不超过1%时,电阻率的非均匀分布对四边形PSD的非线性影响很小,相比较之下,其对一维PSD的影响要大的多.因此,光敏层电阻率的非均匀分布是造成一维PSD非线性的一个主要原因,而对于四边形二维PSD则不是主要原因.
採用數值方法對光敏層電阻率的非均勻分佈及對位置敏感探測器(PSD)的影響進行瞭研究,結果顯示,在現有的製作工藝保障最大電阻率變化不超過1%時,電阻率的非均勻分佈對四邊形PSD的非線性影響很小,相比較之下,其對一維PSD的影響要大的多.因此,光敏層電阻率的非均勻分佈是造成一維PSD非線性的一箇主要原因,而對于四邊形二維PSD則不是主要原因.
채용수치방법대광민층전조솔적비균균분포급대위치민감탐측기(PSD)적영향진행료연구,결과현시,재현유적제작공예보장최대전조솔변화불초과1%시,전조솔적비균균분포대사변형PSD적비선성영향흔소,상비교지하,기대일유PSD적영향요대적다.인차,광민층전조솔적비균균분포시조성일유PSD비선성적일개주요원인,이대우사변형이유PSD칙불시주요원인.
