激光与光电子学进展
激光與光電子學進展
격광여광전자학진전
LASER & OPTOELECTRONICS PROGRESS
2007年
8期
52-56
,共5页
唐娟%廖健宏%蒙红云%张庆茂%周永恒%刘颂豪
唐娟%廖健宏%矇紅雲%張慶茂%週永恆%劉頌豪
당연%료건굉%몽홍운%장경무%주영항%류송호
紫外激光器%激光加工%微加工
紫外激光器%激光加工%微加工
자외격광기%격광가공%미가공
紫外激光的波长短,能量聚集集中,分辨率高,特别是具有"冷加工"的特性,能直接破坏连接物质的化学键,而不产生对外围的加热,因此成为加工脆弱物质的理想工具,并能对多种材料进行打孔、切割、烧蚀,在微加工领域中具有广泛的应用.简要介绍了几种紫外激光器的原理特点及其发展现状,并讨论了它在激光加工中的应用.
紫外激光的波長短,能量聚集集中,分辨率高,特彆是具有"冷加工"的特性,能直接破壞連接物質的化學鍵,而不產生對外圍的加熱,因此成為加工脆弱物質的理想工具,併能對多種材料進行打孔、切割、燒蝕,在微加工領域中具有廣汎的應用.簡要介紹瞭幾種紫外激光器的原理特點及其髮展現狀,併討論瞭它在激光加工中的應用.
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