中国激光
中國激光
중국격광
CHINESE JOURNAL OF LASERS
2007年
9期
1267-1270
,共4页
李中梁%王向朝%刘英明%步扬
李中樑%王嚮朝%劉英明%步颺
리중량%왕향조%류영명%보양
测量%干涉仪%正弦相位调制%实时测量
測量%榦涉儀%正絃相位調製%實時測量
측량%간섭의%정현상위조제%실시측량
在激光二极管(LD)正弦相位调制(LD-SPM)干涉仪中,通过注入电流调制激光二极管波长的同时,光源输出的光强也被调制,成为测量误差的主要来源之一.提出一种新的消除激光二极管正弦相位调制干涉仪中光强调制影响的干涉仪,给出了具体的理论分析.该干涉仪采用全光纤结构,有效减小外界干扰对干涉测量的影响;采用容易实现的前置信号处理电路和实时相位检测器对干涉信号进行处理,消除了激光二极管光强调制产生的测量误差;同时实现了物体微小位移的高精度实时测量,测量的重复精度达到1 nm.实验结果与其他消除光强调制影响的方法测得的结果基本一致,验证了该方法的实用性.
在激光二極管(LD)正絃相位調製(LD-SPM)榦涉儀中,通過註入電流調製激光二極管波長的同時,光源輸齣的光彊也被調製,成為測量誤差的主要來源之一.提齣一種新的消除激光二極管正絃相位調製榦涉儀中光彊調製影響的榦涉儀,給齣瞭具體的理論分析.該榦涉儀採用全光纖結構,有效減小外界榦擾對榦涉測量的影響;採用容易實現的前置信號處理電路和實時相位檢測器對榦涉信號進行處理,消除瞭激光二極管光彊調製產生的測量誤差;同時實現瞭物體微小位移的高精度實時測量,測量的重複精度達到1 nm.實驗結果與其他消除光彊調製影響的方法測得的結果基本一緻,驗證瞭該方法的實用性.
재격광이겁관(LD)정현상위조제(LD-SPM)간섭의중,통과주입전류조제격광이겁관파장적동시,광원수출적광강야피조제,성위측량오차적주요래원지일.제출일충신적소제격광이겁관정현상위조제간섭의중광강조제영향적간섭의,급출료구체적이론분석.해간섭의채용전광섬결구,유효감소외계간우대간섭측량적영향;채용용역실현적전치신호처리전로화실시상위검측기대간섭신호진행처리,소제료격광이겁관광강조제산생적측량오차;동시실현료물체미소위이적고정도실시측량,측량적중복정도체도1 nm.실험결과여기타소제광강조제영향적방법측득적결과기본일치,험증료해방법적실용성.
