应用光学
應用光學
응용광학
JOURNAL OF APPLIED OPTICS
2009年
1期
84-88
,共5页
光学薄膜%椭偏测量术%光学常数%灵敏度分析
光學薄膜%橢偏測量術%光學常數%靈敏度分析
광학박막%타편측량술%광학상수%령민도분석
在对椭圆偏振测量的基本原理进行了简单介绍和推导后,讨论了椭圆偏振测量中椭偏参数关于薄膜参数的灵敏度以及入射角对椭偏参数的影响,并进行了具体的仿真分析,得到如下结论:椭偏参数Delta对薄膜光学常数和薄膜厚度变化的灵敏度明显高于椭偏参数Psi.在椭偏数据处理中,椭偏参数Delta的测量精度直接影响薄膜光学常数和薄膜厚度的拟合精度.为了提高椭偏参数Delta的测量精度,可以选择入射角在膺布儒斯特角附近.所得结论对高精度椭偏测量具有指导意义.
在對橢圓偏振測量的基本原理進行瞭簡單介紹和推導後,討論瞭橢圓偏振測量中橢偏參數關于薄膜參數的靈敏度以及入射角對橢偏參數的影響,併進行瞭具體的倣真分析,得到如下結論:橢偏參數Delta對薄膜光學常數和薄膜厚度變化的靈敏度明顯高于橢偏參數Psi.在橢偏數據處理中,橢偏參數Delta的測量精度直接影響薄膜光學常數和薄膜厚度的擬閤精度.為瞭提高橢偏參數Delta的測量精度,可以選擇入射角在膺佈儒斯特角附近.所得結論對高精度橢偏測量具有指導意義.
재대타원편진측량적기본원리진행료간단개소화추도후,토론료타원편진측량중타편삼수관우박막삼수적령민도이급입사각대타편삼수적영향,병진행료구체적방진분석,득도여하결론:타편삼수Delta대박막광학상수화박막후도변화적령민도명현고우타편삼수Psi.재타편수거처리중,타편삼수Delta적측량정도직접영향박막광학상수화박막후도적의합정도.위료제고타편삼수Delta적측량정도,가이선택입사각재응포유사특각부근.소득결론대고정도타편측량구유지도의의.
