真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2009年
2期
194-197
,共4页
黄林君%赵海波%沈保罗%梁红樱%王辉
黃林君%趙海波%瀋保囉%樑紅櫻%王輝
황림군%조해파%침보라%량홍앵%왕휘
磁控溅射%Ti-Si-N薄膜%显微硬度%耐磨性
磁控濺射%Ti-Si-N薄膜%顯微硬度%耐磨性
자공천사%Ti-Si-N박막%현미경도%내마성
本文通过改变硅靶电流的方法,用自制的磁控溅射设备在硬质合金刀片上制备了Ti-Si-N薄膜.用x射线衍射研究了Ti-Si-N薄膜的结构和织构变化,用XPS分析了薄膜的相组成,用显微硬度计测定了该涂层的显微硬度,用扫描电镜观察了薄膜的断口形貌,用标准切削试验方法研究了该涂层的耐磨性.结果表明,Ti-si-N薄膜主要由si3N4和TiN组成,Ti-Si-N涂层的硬度和耐磨性都高于TiN涂层.
本文通過改變硅靶電流的方法,用自製的磁控濺射設備在硬質閤金刀片上製備瞭Ti-Si-N薄膜.用x射線衍射研究瞭Ti-Si-N薄膜的結構和織構變化,用XPS分析瞭薄膜的相組成,用顯微硬度計測定瞭該塗層的顯微硬度,用掃描電鏡觀察瞭薄膜的斷口形貌,用標準切削試驗方法研究瞭該塗層的耐磨性.結果錶明,Ti-si-N薄膜主要由si3N4和TiN組成,Ti-Si-N塗層的硬度和耐磨性都高于TiN塗層.
본문통과개변규파전류적방법,용자제적자공천사설비재경질합금도편상제비료Ti-Si-N박막.용x사선연사연구료Ti-Si-N박막적결구화직구변화,용XPS분석료박막적상조성,용현미경도계측정료해도층적현미경도,용소묘전경관찰료박막적단구형모,용표준절삭시험방법연구료해도층적내마성.결과표명,Ti-si-N박막주요유si3N4화TiN조성,Ti-Si-N도층적경도화내마성도고우TiN도층.
