西北师范大学学报（自然科学版）
西北師範大學學報（自然科學版）
서북사범대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF NORTHWEST NORMAL UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE)
2010年
1期
37-42
,共6页
马书懿%毛雷鸣%马慧%史新福%周婷婷%丁继军
馬書懿%毛雷鳴%馬慧%史新福%週婷婷%丁繼軍
마서의%모뢰명%마혜%사신복%주정정%정계군
AFM%光致发光%Cu掺杂ZnO薄膜%光学带隙%透射
AFM%光緻髮光%Cu摻雜ZnO薄膜%光學帶隙%透射
AFM%광치발광%Cu참잡ZnO박막%광학대극%투사
采用磁控溅射法(RF)在玻璃基底上制备了未掺杂和不同Cu掺杂浓度的ZnO薄膜.使用X射线衍射仪(XRD)、原子力显微镜(AFM)、扫描电子显微镜(SEM)分别对样品的形貌进行了表征,并对ZnO薄膜进行了应力分析.结果显示:所有样品都呈现出(002)衍射峰,有较好的c轴择优取向;所有样品出现有3个发光峰,分别对应于400 nm(3.14 eV,紫光),444 nm(2.78 eV,蓝光),484 nm(2.56 eV,蓝光).紫峰的存在与激子的存在有极大关系,而蓝光发射主要是由于电子从导带上向锌空位形成的浅受主能级上的跃迁.随着Cu掺杂量的增加,薄膜的带隙宽度Eg随之减小,样品光学带隙值由3.26 eV逐渐减小为2.99 eV.实验中还发现,随着Cu掺杂量增加,薄膜的透射率也随之减小.
採用磁控濺射法(RF)在玻璃基底上製備瞭未摻雜和不同Cu摻雜濃度的ZnO薄膜.使用X射線衍射儀(XRD)、原子力顯微鏡(AFM)、掃描電子顯微鏡(SEM)分彆對樣品的形貌進行瞭錶徵,併對ZnO薄膜進行瞭應力分析.結果顯示:所有樣品都呈現齣(002)衍射峰,有較好的c軸擇優取嚮;所有樣品齣現有3箇髮光峰,分彆對應于400 nm(3.14 eV,紫光),444 nm(2.78 eV,藍光),484 nm(2.56 eV,藍光).紫峰的存在與激子的存在有極大關繫,而藍光髮射主要是由于電子從導帶上嚮鋅空位形成的淺受主能級上的躍遷.隨著Cu摻雜量的增加,薄膜的帶隙寬度Eg隨之減小,樣品光學帶隙值由3.26 eV逐漸減小為2.99 eV.實驗中還髮現,隨著Cu摻雜量增加,薄膜的透射率也隨之減小.
채용자공천사법(RF)재파리기저상제비료미참잡화불동Cu참잡농도적ZnO박막.사용X사선연사의(XRD)、원자력현미경(AFM)、소묘전자현미경(SEM)분별대양품적형모진행료표정,병대ZnO박막진행료응력분석.결과현시:소유양품도정현출(002)연사봉,유교호적c축택우취향;소유양품출현유3개발광봉,분별대응우400 nm(3.14 eV,자광),444 nm(2.78 eV,람광),484 nm(2.56 eV,람광).자봉적존재여격자적존재유겁대관계,이람광발사주요시유우전자종도대상향자공위형성적천수주능급상적약천.수착Cu참잡량적증가,박막적대극관도Eg수지감소,양품광학대극치유3.26 eV축점감소위2.99 eV.실험중환발현,수착Cu참잡량증가,박막적투사솔야수지감소.
