湖北汽车工业学院学报
湖北汽車工業學院學報
호북기차공업학원학보
JOURNAL OF HUBEI AUTOMOTIVE INDUSTRIES INSTITUTE
2010年
3期
55-58
,共4页
溶胶-凝胶法%ZnO薄膜%光学性质
溶膠-凝膠法%ZnO薄膜%光學性質
용효-응효법%ZnO박막%광학성질
采用溶胶-凝胶法分别在透明玻璃和Si村底上制备出了ZnO薄膜.分别采用X射线衍射仪(XRD)、能量分散谱仪(EDS)、紫外可见分光光度计和荧光光谱仪对所制样品进行测试,研究了样品的结构特性、成分和光学特性.X射线衍射结果表明,所制备的ZnO薄膜为六角纤锌矿结构;ZnO薄膜的EDS能谱图表明薄膜包含O元素和Zn元素;透射光谱表明ZnO薄膜质量高,在可见光范围内具有较高的透射率.平均透射率在85%以上;吸收光谱表明在带隙处存在吸收边;从PL光谱观察到了显著的紫外发射峰.
採用溶膠-凝膠法分彆在透明玻璃和Si村底上製備齣瞭ZnO薄膜.分彆採用X射線衍射儀(XRD)、能量分散譜儀(EDS)、紫外可見分光光度計和熒光光譜儀對所製樣品進行測試,研究瞭樣品的結構特性、成分和光學特性.X射線衍射結果錶明,所製備的ZnO薄膜為六角纖鋅礦結構;ZnO薄膜的EDS能譜圖錶明薄膜包含O元素和Zn元素;透射光譜錶明ZnO薄膜質量高,在可見光範圍內具有較高的透射率.平均透射率在85%以上;吸收光譜錶明在帶隙處存在吸收邊;從PL光譜觀察到瞭顯著的紫外髮射峰.
채용용효-응효법분별재투명파리화Si촌저상제비출료ZnO박막.분별채용X사선연사의(XRD)、능량분산보의(EDS)、자외가견분광광도계화형광광보의대소제양품진행측시,연구료양품적결구특성、성분화광학특성.X사선연사결과표명,소제비적ZnO박막위륙각섬자광결구;ZnO박막적EDS능보도표명박막포함O원소화Zn원소;투사광보표명ZnO박막질량고,재가견광범위내구유교고적투사솔.평균투사솔재85%이상;흡수광보표명재대극처존재흡수변;종PL광보관찰도료현저적자외발사봉.
