光子学报
光子學報
광자학보
ACTA PHOTONICA SINICA
2011年
8期
1253-1256
,共4页
高金海%李桢%张武勤%张兵临
高金海%李楨%張武勤%張兵臨
고금해%리정%장무근%장병림
微波等离子体化学气相沉积%场致电子发射%类球状微米金刚石聚晶
微波等離子體化學氣相沉積%場緻電子髮射%類毬狀微米金剛石聚晶
미파등리자체화학기상침적%장치전자발사%류구상미미금강석취정
利用微波等离子体化学气相沉积法,在覆盖金属钛层的陶瓷衬底上,通过改变沉积时间制备出不同结构的类球状微米金刚石聚晶碳膜.通过扫描电子显微镜、喇曼光谱、X射线衍射谱对碳膜进行了分析测试,并研究了不同沉积时间下沉积的类球状微米金刚石聚晶薄膜的场致电子发射特性,结果显示:不同的沉积时间所制备的碳膜形貌有很大变化,场致电子发射的效果也有很大不同,从而得出了场增强因子的降低和导电通道的增长是场发射效果变差的主要原因.
利用微波等離子體化學氣相沉積法,在覆蓋金屬鈦層的陶瓷襯底上,通過改變沉積時間製備齣不同結構的類毬狀微米金剛石聚晶碳膜.通過掃描電子顯微鏡、喇曼光譜、X射線衍射譜對碳膜進行瞭分析測試,併研究瞭不同沉積時間下沉積的類毬狀微米金剛石聚晶薄膜的場緻電子髮射特性,結果顯示:不同的沉積時間所製備的碳膜形貌有很大變化,場緻電子髮射的效果也有很大不同,從而得齣瞭場增彊因子的降低和導電通道的增長是場髮射效果變差的主要原因.
이용미파등리자체화학기상침적법,재복개금속태층적도자츤저상,통과개변침적시간제비출불동결구적류구상미미금강석취정탄막.통과소묘전자현미경、나만광보、X사선연사보대탄막진행료분석측시,병연구료불동침적시간하침적적류구상미미금강석취정박막적장치전자발사특성,결과현시:불동적침적시간소제비적탄막형모유흔대변화,장치전자발사적효과야유흔대불동,종이득출료장증강인자적강저화도전통도적증장시장발사효과변차적주요원인.
