强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2005年
2期
213-216
,共4页
张东平%张大伟%范树海%黄建兵%赵元安%邵建达%范正修
張東平%張大偉%範樹海%黃建兵%趙元安%邵建達%範正脩
장동평%장대위%범수해%황건병%조원안%소건체%범정수
激光损伤阈值%薄膜%离子后处理%微缺陷
激光損傷閾值%薄膜%離子後處理%微缺陷
격광손상역치%박막%리자후처리%미결함
利用电子束热蒸发方法在K9玻璃基底上沉积氧化锆薄膜,并对其中一些样品用低能O2+进行了后处理.采用表面热透镜技术测量薄膜样品表面弱吸收,采用显微镜观察样品离子后处理前后的显微缺陷密度.测试结果表明:经离子后处理样品表面的缺陷密度从18.6/mm2降低到6.2/mm2,且其激光损伤阈值从15.9 J/cm2提高到23.1 J/cm2,样品的平均吸收率从处理前的1.147×10-4降低到处理后的9.56×10-5.通过对处理前后样品的表面微缺陷密度、吸收率及损伤形貌等的分析发现:离子后处理可以降低薄膜的显微缺陷和亚显微缺陷,从而降低薄膜的平均吸收率,同时增强了薄膜与基底的结合力,提高了薄膜的激光损伤阈值.
利用電子束熱蒸髮方法在K9玻璃基底上沉積氧化鋯薄膜,併對其中一些樣品用低能O2+進行瞭後處理.採用錶麵熱透鏡技術測量薄膜樣品錶麵弱吸收,採用顯微鏡觀察樣品離子後處理前後的顯微缺陷密度.測試結果錶明:經離子後處理樣品錶麵的缺陷密度從18.6/mm2降低到6.2/mm2,且其激光損傷閾值從15.9 J/cm2提高到23.1 J/cm2,樣品的平均吸收率從處理前的1.147×10-4降低到處理後的9.56×10-5.通過對處理前後樣品的錶麵微缺陷密度、吸收率及損傷形貌等的分析髮現:離子後處理可以降低薄膜的顯微缺陷和亞顯微缺陷,從而降低薄膜的平均吸收率,同時增彊瞭薄膜與基底的結閤力,提高瞭薄膜的激光損傷閾值.
이용전자속열증발방법재K9파리기저상침적양화고박막,병대기중일사양품용저능O2+진행료후처리.채용표면열투경기술측량박막양품표면약흡수,채용현미경관찰양품리자후처리전후적현미결함밀도.측시결과표명:경리자후처리양품표면적결함밀도종18.6/mm2강저도6.2/mm2,차기격광손상역치종15.9 J/cm2제고도23.1 J/cm2,양품적평균흡수솔종처리전적1.147×10-4강저도처리후적9.56×10-5.통과대처리전후양품적표면미결함밀도、흡수솔급손상형모등적분석발현:리자후처리가이강저박막적현미결함화아현미결함,종이강저박막적평균흡수솔,동시증강료박막여기저적결합력,제고료박막적격광손상역치.
