材料保护
材料保護
재료보호
MATERIALS PROTECTION
2005年
7期
5-7
,共3页
陆峰%徐成海%闻立时%曹洪涛%裴志亮%孙超
陸峰%徐成海%聞立時%曹洪濤%裴誌亮%孫超
륙봉%서성해%문립시%조홍도%배지량%손초
ZAO薄膜%衬底%直流磁控溅射%性能%XRD衍射分析%电阻率%透射率
ZAO薄膜%襯底%直流磁控濺射%性能%XRD衍射分析%電阻率%透射率
ZAO박막%츤저%직류자공천사%성능%XRD연사분석%전조솔%투사솔
为了对比研究不同透明衬底上ZnO:Al(ZAO)薄膜的性能,采用直流反应溅射法制备薄膜,并对其作EDS、XRD和电学测试分析.结果表明:所制备的ZAO薄膜具有典型的ZnO晶体结构;沉积在玻璃基片上的ZAO薄膜,Al,O含量高于沉积在透明聚酯塑料基片上的,而Zn的含量则相反;在两种衬底上获得的ZAO薄膜电阻率分别为4.5×10-4Ω*cm和9.73×10-4Ω*cm,可见光透射率分别达到87.7%和81.5%.由此可见:用直流反应磁控溅射法在不同衬底上都能获得可见光透射率达到80%以上的ZAO薄膜;相比而言,在玻璃衬底上获得的ZAO薄膜电阻率低,而在透明聚酯塑料上沉积的ZAO薄膜透射性好.
為瞭對比研究不同透明襯底上ZnO:Al(ZAO)薄膜的性能,採用直流反應濺射法製備薄膜,併對其作EDS、XRD和電學測試分析.結果錶明:所製備的ZAO薄膜具有典型的ZnO晶體結構;沉積在玻璃基片上的ZAO薄膜,Al,O含量高于沉積在透明聚酯塑料基片上的,而Zn的含量則相反;在兩種襯底上穫得的ZAO薄膜電阻率分彆為4.5×10-4Ω*cm和9.73×10-4Ω*cm,可見光透射率分彆達到87.7%和81.5%.由此可見:用直流反應磁控濺射法在不同襯底上都能穫得可見光透射率達到80%以上的ZAO薄膜;相比而言,在玻璃襯底上穫得的ZAO薄膜電阻率低,而在透明聚酯塑料上沉積的ZAO薄膜透射性好.
위료대비연구불동투명츤저상ZnO:Al(ZAO)박막적성능,채용직류반응천사법제비박막,병대기작EDS、XRD화전학측시분석.결과표명:소제비적ZAO박막구유전형적ZnO정체결구;침적재파리기편상적ZAO박막,Al,O함량고우침적재투명취지소료기편상적,이Zn적함량칙상반;재량충츤저상획득적ZAO박막전조솔분별위4.5×10-4Ω*cm화9.73×10-4Ω*cm,가견광투사솔분별체도87.7%화81.5%.유차가견:용직류반응자공천사법재불동츤저상도능획득가견광투사솔체도80%이상적ZAO박막;상비이언,재파리츤저상획득적ZAO박막전조솔저,이재투명취지소료상침적적ZAO박막투사성호.
