理化检验-化学分册
理化檢驗-化學分冊
이화검험-화학분책
PHYSICAL TESTING AND CHEMICAL ANALYSIS PART B:CHEMICAL ANALYSIS
2005年
11期
806-808,811
,共4页
ICP-AES%纯硅%13种杂质元素
ICP-AES%純硅%13種雜質元素
ICP-AES%순규%13충잡질원소
研究了纯硅中微量和痕量杂质元素铝、钙、铁、锰、磷、铬、铜、镍、钛、钒、锆、砷和硼等电感耦合等离子体原子发射光谱( ICP-AES) 的同时测定方法,样品以硝酸、盐酸和氢氟酸挥硅处理方法,在样品处理过程中,加入适量的甘露醇能够抑制硼的挥发.在优化选定的仪器条件和介质中测定纯硅样品和纯硅标准样品.纯硅样品中13个杂质元素的回收率均在92.0% ～ 105.0%之间,相对标准偏差均小于5.0%.
研究瞭純硅中微量和痕量雜質元素鋁、鈣、鐵、錳、燐、鉻、銅、鎳、鈦、釩、鋯、砷和硼等電感耦閤等離子體原子髮射光譜( ICP-AES) 的同時測定方法,樣品以硝痠、鹽痠和氫氟痠揮硅處理方法,在樣品處理過程中,加入適量的甘露醇能夠抑製硼的揮髮.在優化選定的儀器條件和介質中測定純硅樣品和純硅標準樣品.純硅樣品中13箇雜質元素的迴收率均在92.0% ～ 105.0%之間,相對標準偏差均小于5.0%.
연구료순규중미량화흔량잡질원소려、개、철、맹、린、락、동、얼、태、범、고、신화붕등전감우합등리자체원자발사광보( ICP-AES) 적동시측정방법,양품이초산、염산화경불산휘규처리방법,재양품처리과정중,가입괄량적감로순능구억제붕적휘발.재우화선정적의기조건화개질중측정순규양품화순규표준양품.순규양품중13개잡질원소적회수솔균재92.0% ～ 105.0%지간,상대표준편차균소우5.0%.
