全息平面变间距光栅位移传感器研究
전식평면변간거광책위이전감기연구
Study on Position Sensor of Holographic Variable Line-Space Plane Gratings
  • 万方数据
    光子学报 광자학보
    ACTA PHOTONICA SINICA
    2007年 4期 655-658 ,共4页

    楼俊%付绍军%刘正坤%徐向东%何世平%李秉实%吴忠

    루준%부소군%류정곤%서향동%하세평%리병실%오충

    全息光栅%变间距光栅%位移传感器 全息光柵%變間距光柵%位移傳感器
    전식광책%변간거광책%위이전감기
    基于变间距光栅位移传感器的基本原理,研究了高线密度变化率全息平面变间距光栅的制作方法.所作的变间距光栅已应用在变间距光栅位移传感器中,原理样机测试结果表明,系统分辨率可以达到0.05 mm,相对误差可以控制在0.2% FS之内,优于设计指标.
    기우변간거광책위이전감기적기본원리,연구료고선밀도변화솔전식평면변간거광책적제작방법.소작적변간거광책이응용재변간거광책위이전감기중,원리양궤측시결과표명,계통분변솔가이체도0.05 mm,상대오차가이공제재0.2% FS지내,우우설계지표.
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