纳米技术与精密工程
納米技術與精密工程
납미기술여정밀공정
NANOTECHNOLOGY AND PRECISION ENGINEERING
2008年
1期
44-49
,共6页
郭彤%胡春光%陈津平%傅星%胡小唐
郭彤%鬍春光%陳津平%傅星%鬍小唐
곽동%호춘광%진진평%부성%호소당
纳米计量%微机电系统%相移干涉术%Hariharan 算法%台阶标准
納米計量%微機電繫統%相移榦涉術%Hariharan 算法%檯階標準
납미계량%미궤전계통%상이간섭술%Hariharan 산법%태계표준
提出了将时间相移显微干涉测量方法用于微结构和器件的几何特性检测上.该方法速度快、无损、非接触、易在晶片级进行,具有亚微米级的水平分辨力,垂直分辨力在纳米量级.测量系统采用Mirau显微干涉物镜,利用高性能压电陶瓷物镜纳米定位器实现垂直方向的相移,并通过健壮的5帧Hariharan算法获取表面的相位信息.通过测量美国国家标准研究院(NIST)认证的标准台阶对系统进行了精度标定,并通过测量微谐振器和压力传感器微薄膜的几何尺寸说明了该方法作为测量和过程表征工具的功能.
提齣瞭將時間相移顯微榦涉測量方法用于微結構和器件的幾何特性檢測上.該方法速度快、無損、非接觸、易在晶片級進行,具有亞微米級的水平分辨力,垂直分辨力在納米量級.測量繫統採用Mirau顯微榦涉物鏡,利用高性能壓電陶瓷物鏡納米定位器實現垂直方嚮的相移,併通過健壯的5幀Hariharan算法穫取錶麵的相位信息.通過測量美國國傢標準研究院(NIST)認證的標準檯階對繫統進行瞭精度標定,併通過測量微諧振器和壓力傳感器微薄膜的幾何呎吋說明瞭該方法作為測量和過程錶徵工具的功能.
제출료장시간상이현미간섭측량방법용우미결구화기건적궤하특성검측상.해방법속도쾌、무손、비접촉、역재정편급진행,구유아미미급적수평분변력,수직분변력재납미량급.측량계통채용Mirau현미간섭물경,이용고성능압전도자물경납미정위기실현수직방향적상이,병통과건장적5정Hariharan산법획취표면적상위신식.통과측량미국국가표준연구원(NIST)인증적표준태계대계통진행료정도표정,병통과측량미해진기화압력전감기미박막적궤하척촌설명료해방법작위측량화과정표정공구적공능.
