红外与毫米波学报
紅外與毫米波學報
홍외여호미파학보
JOURNAL OF INFRARED AND MILLIMETER WAVES
2012年
1期
15-20
,共6页
仇光寅%张传杰%魏彦锋%陈晓静%徐庆庆%杨建荣
仇光寅%張傳傑%魏彥鋒%陳曉靜%徐慶慶%楊建榮
구광인%장전걸%위언봉%진효정%서경경%양건영
碲镉汞%霍尔效应%As掺杂%激活退火%双层模型
碲鎘汞%霍爾效應%As摻雜%激活退火%雙層模型
제력홍%곽이효응%As참잡%격활퇴화%쌍층모형
对富碲液相外延As掺杂碲镉汞(HgCdTe)材料的研究发现,其电学性能存在着不稳定性,材料霍尔参数的实验数据与均匀材料的理论计算结果也不能很好的吻合.通过采用剥层变温霍尔测量和二次离子质谱(SIMS)测试对材料纵向均匀性进行检测的结果显示,外延材料中的As在高温富汞激活退火过程中具有向材料表面扩散的效应,导致在表面形成了高于主体层浓度1～2个量级的高浓度表面层,并导致了AsTe受主的浓度在HgCdTe薄膜中呈非均匀分布.考虑这一效应并采用双层模型的霍尔参数计算方法后,As掺杂HgCdTe液相外延材料的电学行为得到了较好的解释,并较为准确地获得了退火后材料表面层与主体层的受主浓度及受主能级等电学参数.
對富碲液相外延As摻雜碲鎘汞(HgCdTe)材料的研究髮現,其電學性能存在著不穩定性,材料霍爾參數的實驗數據與均勻材料的理論計算結果也不能很好的吻閤.通過採用剝層變溫霍爾測量和二次離子質譜(SIMS)測試對材料縱嚮均勻性進行檢測的結果顯示,外延材料中的As在高溫富汞激活退火過程中具有嚮材料錶麵擴散的效應,導緻在錶麵形成瞭高于主體層濃度1～2箇量級的高濃度錶麵層,併導緻瞭AsTe受主的濃度在HgCdTe薄膜中呈非均勻分佈.攷慮這一效應併採用雙層模型的霍爾參數計算方法後,As摻雜HgCdTe液相外延材料的電學行為得到瞭較好的解釋,併較為準確地穫得瞭退火後材料錶麵層與主體層的受主濃度及受主能級等電學參數.
대부제액상외연As참잡제력홍(HgCdTe)재료적연구발현,기전학성능존재착불은정성,재료곽이삼수적실험수거여균균재료적이론계산결과야불능흔호적문합.통과채용박층변온곽이측량화이차리자질보(SIMS)측시대재료종향균균성진행검측적결과현시,외연재료중적As재고온부홍격활퇴화과정중구유향재료표면확산적효응,도치재표면형성료고우주체층농도1～2개량급적고농도표면층,병도치료AsTe수주적농도재HgCdTe박막중정비균균분포.고필저일효응병채용쌍층모형적곽이삼수계산방법후,As참잡HgCdTe액상외연재료적전학행위득도료교호적해석,병교위준학지획득료퇴화후재료표면층여주체층적수주농도급수주능급등전학삼수.
