红外与激光工程
紅外與激光工程
홍외여격광공정
INFRARED AND LASER ENGINEERING
2012年
4期
1052-1056
,共5页
黎发志%郑立功%闫锋%薛栋林%张学军
黎髮誌%鄭立功%閆鋒%薛棟林%張學軍
려발지%정립공%염봉%설동림%장학군
计算全息图%自由曲面%光学检测
計算全息圖%自由麯麵%光學檢測
계산전식도%자유곡면%광학검측
自由曲面能有效地简化光学系统结构并提高其性能,在照明光学系统和成像光学系统中均具有良好的应用前景.为了实现自由曲面的高精度光学检测,分析了自由曲面的计算机全息图(CGH)检测方法并讨论了它的限制因素；探讨了使用基准CGH区域解决自由曲面检测时的对准问题；设计并制作了直径为180 mm的CGH对某三次方项波前编码自由曲面(口径150mm,PV为6λ,λ@632.8 nm)进行了光学检测,该方法的检测结果(0.068 λrms)与非零位检测方法的检测结果(0.067 λrms)一致,实验验证了自由曲面的CGH检测方法.该方法具有易对准、精度高和效率高的优点.
自由麯麵能有效地簡化光學繫統結構併提高其性能,在照明光學繫統和成像光學繫統中均具有良好的應用前景.為瞭實現自由麯麵的高精度光學檢測,分析瞭自由麯麵的計算機全息圖(CGH)檢測方法併討論瞭它的限製因素；探討瞭使用基準CGH區域解決自由麯麵檢測時的對準問題；設計併製作瞭直徑為180 mm的CGH對某三次方項波前編碼自由麯麵(口徑150mm,PV為6λ,λ@632.8 nm)進行瞭光學檢測,該方法的檢測結果(0.068 λrms)與非零位檢測方法的檢測結果(0.067 λrms)一緻,實驗驗證瞭自由麯麵的CGH檢測方法.該方法具有易對準、精度高和效率高的優點.
자유곡면능유효지간화광학계통결구병제고기성능,재조명광학계통화성상광학계통중균구유량호적응용전경.위료실현자유곡면적고정도광학검측,분석료자유곡면적계산궤전식도(CGH)검측방법병토론료타적한제인소；탐토료사용기준CGH구역해결자유곡면검측시적대준문제；설계병제작료직경위180 mm적CGH대모삼차방항파전편마자유곡면(구경150mm,PV위6λ,λ@632.8 nm)진행료광학검측,해방법적검측결과(0.068 λrms)여비령위검측방법적검측결과(0.067 λrms)일치,실험험증료자유곡면적CGH검측방법.해방법구유역대준、정도고화효솔고적우점.
