光学学报
光學學報
광학학보
ACTA OPTICA SINICA
2005年
8期
1062-1066
,共5页
刘剑峰%龙夫年%张伟%王治乐
劉劍峰%龍伕年%張偉%王治樂
류검봉%룡부년%장위%왕치악
应用光学%面形拟合%傅里叶变换%泽尼克多项式
應用光學%麵形擬閤%傅裏葉變換%澤尼剋多項式
응용광학%면형의합%부리협변환%택니극다항식
获得泽尼克多项式的频谱信息是正确利用该多项式进行误差拟合的关键.推导出了泽尼克多项式的傅里叶变换公式,在频域中分析了不同阶数该多项式的径向频谱信息和幅角频谱信息,得到了有限项泽尼克多项式能够有效表达面形误差的最大径向空间频率和角频率.基于频域分析理论,利用泽尼克多项式对不同口径局部误差进行了拟合,并利用齐戈(Zygo)干涉仪对带有不同面形误差的光学元件进行了试验分析.结果表明,当误差的径向空间频率或角频率超出泽尼克多项式所能表达的频谱范围时,拟合误差迅速变大.
穫得澤尼剋多項式的頻譜信息是正確利用該多項式進行誤差擬閤的關鍵.推導齣瞭澤尼剋多項式的傅裏葉變換公式,在頻域中分析瞭不同階數該多項式的徑嚮頻譜信息和幅角頻譜信息,得到瞭有限項澤尼剋多項式能夠有效錶達麵形誤差的最大徑嚮空間頻率和角頻率.基于頻域分析理論,利用澤尼剋多項式對不同口徑跼部誤差進行瞭擬閤,併利用齊戈(Zygo)榦涉儀對帶有不同麵形誤差的光學元件進行瞭試驗分析.結果錶明,噹誤差的徑嚮空間頻率或角頻率超齣澤尼剋多項式所能錶達的頻譜範圍時,擬閤誤差迅速變大.
획득택니극다항식적빈보신식시정학이용해다항식진행오차의합적관건.추도출료택니극다항식적부리협변환공식,재빈역중분석료불동계수해다항식적경향빈보신식화폭각빈보신식,득도료유한항택니극다항식능구유효표체면형오차적최대경향공간빈솔화각빈솔.기우빈역분석이론,이용택니극다항식대불동구경국부오차진행료의합,병이용제과(Zygo)간섭의대대유불동면형오차적광학원건진행료시험분석.결과표명,당오차적경향공간빈솔혹각빈솔초출택니극다항식소능표체적빈보범위시,의합오차신속변대.
