电子工业专用设备
電子工業專用設備
전자공업전용설비
EQUIPMENT FOR ELECTRONIC PRODUCTS MANUFACTURING
2007年
4期
49-52
,共4页
单晶炉%80C196KC%等径控制
單晶爐%80C196KC%等徑控製
단정로%80C196KC%등경공제
等径生长控制系统是单晶炉上的重要组成部分,其性能对于单晶的生长至关重要.以80C196KC单片机作为控制系统的核心部件,采用PID算法以及其他的软硬件设计,实现了一整套单晶炉生长控制的设计方案.
等徑生長控製繫統是單晶爐上的重要組成部分,其性能對于單晶的生長至關重要.以80C196KC單片機作為控製繫統的覈心部件,採用PID算法以及其他的軟硬件設計,實現瞭一整套單晶爐生長控製的設計方案.
등경생장공제계통시단정로상적중요조성부분,기성능대우단정적생장지관중요.이80C196KC단편궤작위공제계통적핵심부건,채용PID산법이급기타적연경건설계,실현료일정투단정로생장공제적설계방안.
