光学学报
光學學報
광학학보
ACTA OPTICA SINICA
2007年
7期
1322-1326
,共5页
李成仁%宋世德%周松强%宋昌烈%于清旭%雷明凯
李成仁%宋世德%週鬆彊%宋昌烈%于清旭%雷明凱
리성인%송세덕%주송강%송창렬%우청욱%뢰명개
薄膜光学%镱铒共掺Al2O3薄膜%激光退火%表面形貌%退火均匀性
薄膜光學%鐿鉺共摻Al2O3薄膜%激光退火%錶麵形貌%退火均勻性
박막광학%의이공참Al2O3박막%격광퇴화%표면형모%퇴화균균성
讨论了激光退火工艺参量对镱铒共掺Al2O3薄膜表面形貌和退火均匀性的影响.薄膜样品被置放于衰减扩束透镜的3倍焦距位置时,薄膜上8 mm半径区域内近似均匀退火;退火时间为32 s时,表面形貌与退火前基本相同.阈值退火功率为5 W,最佳退火功率为20 W.对相同工艺制备的镱铒共掺Al2O3薄膜分别进行CO2激光退火和热退火处理,光致发光(PL)谱测量表明,前者峰值强度比后者强10倍以上,并且热退火光致发光强度随抽运功率增加出现饱和、下降,而激光退火近似随抽运功率单调线性增强.
討論瞭激光退火工藝參量對鐿鉺共摻Al2O3薄膜錶麵形貌和退火均勻性的影響.薄膜樣品被置放于衰減擴束透鏡的3倍焦距位置時,薄膜上8 mm半徑區域內近似均勻退火;退火時間為32 s時,錶麵形貌與退火前基本相同.閾值退火功率為5 W,最佳退火功率為20 W.對相同工藝製備的鐿鉺共摻Al2O3薄膜分彆進行CO2激光退火和熱退火處理,光緻髮光(PL)譜測量錶明,前者峰值彊度比後者彊10倍以上,併且熱退火光緻髮光彊度隨抽運功率增加齣現飽和、下降,而激光退火近似隨抽運功率單調線性增彊.
토론료격광퇴화공예삼량대의이공참Al2O3박막표면형모화퇴화균균성적영향.박막양품피치방우쇠감확속투경적3배초거위치시,박막상8 mm반경구역내근사균균퇴화;퇴화시간위32 s시,표면형모여퇴화전기본상동.역치퇴화공솔위5 W,최가퇴화공솔위20 W.대상동공예제비적의이공참Al2O3박막분별진행CO2격광퇴화화열퇴화처리,광치발광(PL)보측량표명,전자봉치강도비후자강10배이상,병차열퇴화광치발광강도수추운공솔증가출현포화、하강,이격광퇴화근사수추운공솔단조선성증강.
