功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2009年
1期
37-39
,共3页
董茂进%陈朝阳%范艳伟%丛秀云%王军华%陶明德
董茂進%陳朝暘%範豔偉%叢秀雲%王軍華%陶明德
동무진%진조양%범염위%총수운%왕군화%도명덕
双重掺杂%深能级杂质%Au%Ni%热敏特性
雙重摻雜%深能級雜質%Au%Ni%熱敏特性
쌍중참잡%심능급잡질%Au%Ni%열민특성
为了制备高B低阻的硅单晶热敏材料,采用开管涂源的方法,对n型单晶硅进行Au、Ni两种过渡族金属的双重高温掺杂,得到对温度敏感的补偿硅材料,并对其进行测试和分析.掺杂后得到的硅单晶热敏材料,其导电类型仍为n型,且电阻率较低,为欠补偿,测试结果表明其常温电阻率ρ25=64～416Ω·cm,温度敏感系数(B值)在5300K左右;根据半导体中深能级杂质理论推导计算得到的材料的B值,与实验值基本一致.
為瞭製備高B低阻的硅單晶熱敏材料,採用開管塗源的方法,對n型單晶硅進行Au、Ni兩種過渡族金屬的雙重高溫摻雜,得到對溫度敏感的補償硅材料,併對其進行測試和分析.摻雜後得到的硅單晶熱敏材料,其導電類型仍為n型,且電阻率較低,為欠補償,測試結果錶明其常溫電阻率ρ25=64～416Ω·cm,溫度敏感繫數(B值)在5300K左右;根據半導體中深能級雜質理論推導計算得到的材料的B值,與實驗值基本一緻.
위료제비고B저조적규단정열민재료,채용개관도원적방법,대n형단정규진행Au、Ni량충과도족금속적쌍중고온참잡,득도대온도민감적보상규재료,병대기진행측시화분석.참잡후득도적규단정열민재료,기도전류형잉위n형,차전조솔교저,위흠보상,측시결과표명기상온전조솔ρ25=64～416Ω·cm,온도민감계수(B치)재5300K좌우;근거반도체중심능급잡질이론추도계산득도적재료적B치,여실험치기본일치.
