电子学报
電子學報
전자학보
ACTA ELECTRONICA SINICA
2010年
5期
1201-1204
,共4页
反应离子深刻蚀%热传递%notching效应
反應離子深刻蝕%熱傳遞%notching效應
반응리자심각식%열전체%notching효응
提出了一种在反应离子深刻蚀中既可以加强热传递又可以抑制notching效应的方法,尤其适用于含有细长梁结构的刻蚀.通过在硅结构的下表面溅射一薄层金属,以加强刻蚀过程中产生的热量的消散,降低了硅结构的温度.用有限元仿真和实验分别验证了该方法的有效性.同时,金属层也抑制了刻蚀离子所带电荷在绝缘介质层上的积累,防止了自建电场的产生,抑制了notching效应.该方法通过扫描电子显微镜的测量也得到了实验验证.加工了一个SOI梳齿驱动器,检验了本方法的有效性和适应性.
提齣瞭一種在反應離子深刻蝕中既可以加彊熱傳遞又可以抑製notching效應的方法,尤其適用于含有細長樑結構的刻蝕.通過在硅結構的下錶麵濺射一薄層金屬,以加彊刻蝕過程中產生的熱量的消散,降低瞭硅結構的溫度.用有限元倣真和實驗分彆驗證瞭該方法的有效性.同時,金屬層也抑製瞭刻蝕離子所帶電荷在絕緣介質層上的積纍,防止瞭自建電場的產生,抑製瞭notching效應.該方法通過掃描電子顯微鏡的測量也得到瞭實驗驗證.加工瞭一箇SOI梳齒驅動器,檢驗瞭本方法的有效性和適應性.
제출료일충재반응리자심각식중기가이가강열전체우가이억제notching효응적방법,우기괄용우함유세장량결구적각식.통과재규결구적하표면천사일박층금속,이가강각식과정중산생적열량적소산,강저료규결구적온도.용유한원방진화실험분별험증료해방법적유효성.동시,금속층야억제료각식리자소대전하재절연개질층상적적루,방지료자건전장적산생,억제료notching효응.해방법통과소묘전자현미경적측량야득도료실험험증.가공료일개SOI소치구동기,검험료본방법적유효성화괄응성.
