氧化锌掺钇透明导电薄膜的制备及光电特性研究
양화자참을투명도전박막적제비급광전특성연구
Preparation and photoelectric properties of transparent conductive yttrium-doped zinc oxide thin films
  • 万方数据
    功能材料 공능재료
    JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
    2010年 9期 1578-1580,1584 ,共4页

    宋淑梅%杨田林%辛艳青%姜丽莉%李延辉%庞志勇%林亮%韩圣浩

    송숙매%양전림%신염청%강려리%리연휘%방지용%림량%한골호

    透明导电薄膜%YZO%射频磁控溅射%电阻率%透过率 透明導電薄膜%YZO%射頻磁控濺射%電阻率%透過率
    투명도전박막%YZO%사빈자공천사%전조솔%투과솔
    采用射频磁控溅射法,室温下在玻璃衬底上制备出了具有良好附着性、低电阻率和高透过率的新型透明导电薄膜YZO(ZnO掺杂Y2O3简称YZO).在薄膜厚度为600nm的情况下,研究了薄膜电学特性随溅射功率和溅射气压的变化情况.X射线衍射谱表明YZO薄膜是多晶膜,具有ZnO的六角纤锌矿结构,最佳取向为(002)方向.最佳溅射条件下制备的薄膜电阻率为8.71×10-4Ω·cm,在可见光范围内平均透过率达到92.3%,禁带宽度为3.57eV.
    채용사빈자공천사법,실온하재파리츤저상제비출료구유량호부착성、저전조솔화고투과솔적신형투명도전박막YZO(ZnO참잡Y2O3간칭YZO).재박막후도위600nm적정황하,연구료박막전학특성수천사공솔화천사기압적변화정황.X사선연사보표명YZO박막시다정막,구유ZnO적륙각섬자광결구,최가취향위(002)방향.최가천사조건하제비적박막전조솔위8.71×10-4Ω·cm,재가견광범위내평균투과솔체도92.3%,금대관도위3.57eV.
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