低温与超导
低溫與超導
저온여초도
CRYOGENICS AND SUPERCONDUCTIVITY
2010年
11期
25-27
,共3页
丁晓杰%张峥%黄振辉%胡来平
丁曉傑%張崢%黃振輝%鬍來平
정효걸%장쟁%황진휘%호래평
超导芯片%电极%键合
超導芯片%電極%鍵閤
초도심편%전겁%건합
针对超导芯片与其它电路可靠连接的难题开展了超导芯片电极引线键合的实验研究.在超导薄膜芯片上先制作了银-金电极,然后利用热声焊接原理,将100μm×25μm金带键合至电极表面,最后进行电极引线拉力测试.依据GJB548B-2005关于键合强度的规定,初步确定了键合工艺参数.S波段超导滤波器应用实例表明,以该方法实现电路互联,其微波性能优异.
針對超導芯片與其它電路可靠連接的難題開展瞭超導芯片電極引線鍵閤的實驗研究.在超導薄膜芯片上先製作瞭銀-金電極,然後利用熱聲銲接原理,將100μm×25μm金帶鍵閤至電極錶麵,最後進行電極引線拉力測試.依據GJB548B-2005關于鍵閤彊度的規定,初步確定瞭鍵閤工藝參數.S波段超導濾波器應用實例錶明,以該方法實現電路互聯,其微波性能優異.
침대초도심편여기타전로가고련접적난제개전료초도심편전겁인선건합적실험연구.재초도박막심편상선제작료은-금전겁,연후이용열성한접원리,장100μm×25μm금대건합지전겁표면,최후진행전겁인선랍력측시.의거GJB548B-2005관우건합강도적규정,초보학정료건합공예삼수.S파단초도려파기응용실례표명,이해방법실현전로호련,기미파성능우이.
