功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2011年
z3期
507-510
,共4页
微弧氧化%BaTiO3%浓度%电流
微弧氧化%BaTiO3%濃度%電流
미호양화%BaTiO3%농도%전류
针对微弧氧化法生成四方相BaTiO3薄膜的工艺参数影响规律进行研究.将Ti板置于含Ba2+的电解液中在0.15～0.55mol/L和1.0～5.5A的浓度、电流区域内进行微弧氧化.实验发现微弧只在一定的浓度-电流区域中发生,可用平面图直观表示;在不同的浓度-电流区域内,薄膜具有不同的形貌,据此将浓度-电流区域图进一步划分成不同区域.对不同浓度-电流区域内生成的薄膜形貌进行分析,得到了生成表面形貌均匀、平整薄膜的工艺规律:应在不发生电击穿的情况下尽量选择大电流、在溶解度的范围内选择高的电解液浓度,根据这一规律选择0.5mol/L、3.0A的浓度和电流,40min后生成的薄膜主要由四方相BaTiO3构成,在1kHz下的介电常数为113.0.
針對微弧氧化法生成四方相BaTiO3薄膜的工藝參數影響規律進行研究.將Ti闆置于含Ba2+的電解液中在0.15～0.55mol/L和1.0～5.5A的濃度、電流區域內進行微弧氧化.實驗髮現微弧隻在一定的濃度-電流區域中髮生,可用平麵圖直觀錶示;在不同的濃度-電流區域內,薄膜具有不同的形貌,據此將濃度-電流區域圖進一步劃分成不同區域.對不同濃度-電流區域內生成的薄膜形貌進行分析,得到瞭生成錶麵形貌均勻、平整薄膜的工藝規律:應在不髮生電擊穿的情況下儘量選擇大電流、在溶解度的範圍內選擇高的電解液濃度,根據這一規律選擇0.5mol/L、3.0A的濃度和電流,40min後生成的薄膜主要由四方相BaTiO3構成,在1kHz下的介電常數為113.0.
침대미호양화법생성사방상BaTiO3박막적공예삼수영향규률진행연구.장Ti판치우함Ba2+적전해액중재0.15～0.55mol/L화1.0～5.5A적농도、전류구역내진행미호양화.실험발현미호지재일정적농도-전류구역중발생,가용평면도직관표시;재불동적농도-전류구역내,박막구유불동적형모,거차장농도-전류구역도진일보화분성불동구역.대불동농도-전류구역내생성적박막형모진행분석,득도료생성표면형모균균、평정박막적공예규률:응재불발생전격천적정황하진량선택대전류、재용해도적범위내선택고적전해액농도,근거저일규률선택0.5mol/L、3.0A적농도화전류,40min후생성적박막주요유사방상BaTiO3구성,재1kHz하적개전상수위113.0.
