CAJ | 학술논문

万方数据

功能材料与器件学报 공능재료여기건학보
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS AND DEVICES
2004年 4期 437-440 ,共4页

张恩霞%孙佳胤%易万兵%陈静%金波%陈猛%张正选%张国强%王曦

장은하%손가윤%역만병%진정%금파%진맹%장정선%장국강%왕희

氧氮共注%氮氧共注隔离%SIMON%SOI%注入剂量氧氮共註%氮氧共註隔離%SIMON%SOI%註入劑量
양담공주%담양공주격리%SIMON%SOI%주입제량

采用氧氮共注的方法制备了氮氧共注隔离 SOI (SIMON) 圆片,对制备的样品进行了二次离子质谱和透射电镜分析,并对埋层结构与抗辐射性能的机理进行了分析.结果表明,注氮剂量较低时埋层质量较好.机理分析结果表明,圆片的抗辐照性能与埋层质量之间存在很密切的关系,埋层的绝缘性能是影响器件抗辐射效应的关键因素.
채용양담공주적방법제비료담양공주격리 SOI (SIMON) 원편,대제비적양품진행료이차리 자질보화투사전경분석,병대매층결구여항복사성능적궤리진행료분석.결과표명,주담제량교저 시매층질량교호.궤리분석결과표명,원편적항복조성능여매층질량지간존재흔밀절적관계,매층 적절연성능시영향기건항복사효응적관건인소.