物理学报
物理學報
물이학보
2004年
7期
2287-2291
,共5页
马丙现%姚宁%杨仕娥%鲁占灵%樊志勤%张兵临
馬丙現%姚寧%楊仕娥%魯佔靈%樊誌勤%張兵臨
마병현%요저%양사아%로점령%번지근%장병림
化学气相沉积%金刚石薄膜%拉曼光谱%强化刻蚀
化學氣相沉積%金剛石薄膜%拉曼光譜%彊化刻蝕
화학기상침적%금강석박막%랍만광보%강화각식
用化学气相沉积方法制备了金刚石薄膜.在制备过程中,通过间歇式关闭甲烷气体,强化了氢对sp2杂化碳原子的刻蚀.用拉曼光谱和金相显微镜对薄膜进行了分析表征.结果表明,氢对sp2杂化碳原子的强化刻蚀并未影响金刚石薄膜的品质和微观结构.这一结论说明,在金刚石薄膜中,sp2杂化碳原子主要存在于金刚石晶粒表面和晶界碳原子之间,而不是以石墨或无定形碳颗粒为主要存在方式.
用化學氣相沉積方法製備瞭金剛石薄膜.在製備過程中,通過間歇式關閉甲烷氣體,彊化瞭氫對sp2雜化碳原子的刻蝕.用拉曼光譜和金相顯微鏡對薄膜進行瞭分析錶徵.結果錶明,氫對sp2雜化碳原子的彊化刻蝕併未影響金剛石薄膜的品質和微觀結構.這一結論說明,在金剛石薄膜中,sp2雜化碳原子主要存在于金剛石晶粒錶麵和晶界碳原子之間,而不是以石墨或無定形碳顆粒為主要存在方式.
용화학기상침적방법제비료금강석박막.재제비과정중,통과간헐식관폐갑완기체,강화료경대sp2잡화탄원자적각식.용랍만광보화금상현미경대박막진행료분석표정.결과표명,경대sp2잡화탄원자적강화각식병미영향금강석박막적품질화미관결구.저일결논설명,재금강석박막중,sp2잡화탄원자주요존재우금강석정립표면화정계탄원자지간,이불시이석묵혹무정형탄과립위주요존재방식.
