电子工业专用设备
電子工業專用設備
전자공업전용설비
EQUIPMENT FOR ELECTRONIC PRODUCTS MANUFACTURING
2005年
6期
14-17
,共4页
宋玲%李学文%廖炼斌%刘亚红%杨基南
宋玲%李學文%廖煉斌%劉亞紅%楊基南
송령%리학문%료련빈%류아홍%양기남
MOCVD%PLC%GaN%自动控制系统
MOCVD%PLC%GaN%自動控製繫統
MOCVD%PLC%GaN%자동공제계통
MOCVD法外延生长GaN基材料作为新世纪的核心技术之一受到全世界的高度重视.MOCVD技术涉及面广,控制对象复杂,且对控制对象的精度、重复性、可靠性要求较高.主要介绍了用于GaN基材料生长的生产型MOCVD(2"×6)设备控制系统的组成与特点.设备运行一年来的结果表明,该系统可靠性高、抗干扰性好、运行效果良好.
MOCVD法外延生長GaN基材料作為新世紀的覈心技術之一受到全世界的高度重視.MOCVD技術涉及麵廣,控製對象複雜,且對控製對象的精度、重複性、可靠性要求較高.主要介紹瞭用于GaN基材料生長的生產型MOCVD(2"×6)設備控製繫統的組成與特點.設備運行一年來的結果錶明,該繫統可靠性高、抗榦擾性好、運行效果良好.
MOCVD법외연생장GaN기재료작위신세기적핵심기술지일수도전세계적고도중시.MOCVD기술섭급면엄,공제대상복잡,차대공제대상적정도、중복성、가고성요구교고.주요개소료용우GaN기재료생장적생산형MOCVD(2"×6)설비공제계통적조성여특점.설비운행일년래적결과표명,해계통가고성고、항간우성호、운행효과량호.
