压电与声光
壓電與聲光
압전여성광
PIEZOELECTRICS & ACOUSTOOPTICS
2007年
4期
411-413
,共3页
袁松梅%林继杰%庄驰%刘强
袁鬆梅%林繼傑%莊馳%劉彊
원송매%림계걸%장치%류강
二维压电光学扫描器%激光多普勒干涉仪%振动模态%有限元分析
二維壓電光學掃描器%激光多普勒榦涉儀%振動模態%有限元分析
이유압전광학소묘기%격광다보륵간섭의%진동모태%유한원분석
介绍了一种新型二维压电光学扫描器的制备和工作原理,并利用有限元模型对二维压电光学扫描器作了振动模态的分析,最后采用激光多普勒干涉仪测量了二维压电光学扫描器的扫描频率和振动特性.实验表明,二维压电光学扫描器仅用2个双压电晶片驱动反射镜实现二维图像扫描,其器件加工简单,结构设计合理,同时适用于驱动器领域,实现二维驱动.
介紹瞭一種新型二維壓電光學掃描器的製備和工作原理,併利用有限元模型對二維壓電光學掃描器作瞭振動模態的分析,最後採用激光多普勒榦涉儀測量瞭二維壓電光學掃描器的掃描頻率和振動特性.實驗錶明,二維壓電光學掃描器僅用2箇雙壓電晶片驅動反射鏡實現二維圖像掃描,其器件加工簡單,結構設計閤理,同時適用于驅動器領域,實現二維驅動.
개소료일충신형이유압전광학소묘기적제비화공작원리,병이용유한원모형대이유압전광학소묘기작료진동모태적분석,최후채용격광다보륵간섭의측량료이유압전광학소묘기적소묘빈솔화진동특성.실험표명,이유압전광학소묘기부용2개쌍압전정편구동반사경실현이유도상소묘,기기건가공간단,결구설계합리,동시괄용우구동기영역,실현이유구동.
