中国激光
中國激光
중국격광
CHINESE JOURNAL OF LASERS
2007年
8期
1125-1129
,共5页
激光技术%角位移测量%剪切干涉%平行平板
激光技術%角位移測量%剪切榦涉%平行平闆
격광기술%각위이측량%전절간섭%평행평판
在一种已有的角位移干涉测量技术的基础上,提出一种改进的角位移测量方法.通过选择合适的初始人射角,使从平板前后表面反射的两光束实现剪切干涉.采用一维位置探测器测量光束经透镜会聚后在探测器光敏面上的光点偏移量.根据干涉信号的相位和光点偏移量可以计算出被测物体的角位移.在该测量方案中,引入的一平面反射镜与被测物体的反射面形成光程差放大系统,提高了角位移测量灵敏度.分析了初始入射角对剪切比的影响,并讨论了基于该方案的角位移测量精度.实验结果表明,基于该技术的角位移重复测量精度达到10-8 rad数量级.
在一種已有的角位移榦涉測量技術的基礎上,提齣一種改進的角位移測量方法.通過選擇閤適的初始人射角,使從平闆前後錶麵反射的兩光束實現剪切榦涉.採用一維位置探測器測量光束經透鏡會聚後在探測器光敏麵上的光點偏移量.根據榦涉信號的相位和光點偏移量可以計算齣被測物體的角位移.在該測量方案中,引入的一平麵反射鏡與被測物體的反射麵形成光程差放大繫統,提高瞭角位移測量靈敏度.分析瞭初始入射角對剪切比的影響,併討論瞭基于該方案的角位移測量精度.實驗結果錶明,基于該技術的角位移重複測量精度達到10-8 rad數量級.
재일충이유적각위이간섭측량기술적기출상,제출일충개진적각위이측량방법.통과선택합괄적초시인사각,사종평판전후표면반사적량광속실현전절간섭.채용일유위치탐측기측량광속경투경회취후재탐측기광민면상적광점편이량.근거간섭신호적상위화광점편이량가이계산출피측물체적각위이.재해측량방안중,인입적일평면반사경여피측물체적반사면형성광정차방대계통,제고료각위이측량령민도.분석료초시입사각대전절비적영향,병토론료기우해방안적각위이측량정도.실험결과표명,기우해기술적각위이중복측량정도체도10-8 rad수량급.
