发光学报
髮光學報
발광학보
CHINESE JOURNAL OF LUMINESCENCE
2009年
3期
344-350
,共7页
汪壮兵%李祥%于永强%梁齐%揭建胜%许小亮
汪壯兵%李祥%于永彊%樑齊%揭建勝%許小亮
왕장병%리상%우영강%량제%게건성%허소량
MgZnO薄膜%脉冲激光沉积%X射线衍射%原子力显微镜%光致发光谱
MgZnO薄膜%脈遲激光沉積%X射線衍射%原子力顯微鏡%光緻髮光譜
MgZnO박막%맥충격광침적%X사선연사%원자력현미경%광치발광보
用PLD法成功制备了一系列高质量的MgZnO薄膜.实验中发现高脉冲能量沉积薄膜的结构和发光特性随基片温度的变化规律与低脉冲能量下的结果不一样:基片在室温时高脉冲能量制备薄膜的XRD峰的半峰全宽比高基片温度时的结果相对更小;AFM显示其颗粒变大,柱状生长突出;PL谱紫峰与绿峰强度比最大,结晶质量反而提高.另一方面,与低脉冲能量时相反,增大氧气压强后高脉冲能量沉积的薄膜XRD半峰全宽变窄.结合实验现象和表征,合理解释了高脉冲能量沉积的机理.室温制备高质量MgZnO薄膜的PLD沉积机理对于以后在柔性衬底上沉积薄膜的研究有重要的参考价值.
用PLD法成功製備瞭一繫列高質量的MgZnO薄膜.實驗中髮現高脈遲能量沉積薄膜的結構和髮光特性隨基片溫度的變化規律與低脈遲能量下的結果不一樣:基片在室溫時高脈遲能量製備薄膜的XRD峰的半峰全寬比高基片溫度時的結果相對更小;AFM顯示其顆粒變大,柱狀生長突齣;PL譜紫峰與綠峰彊度比最大,結晶質量反而提高.另一方麵,與低脈遲能量時相反,增大氧氣壓彊後高脈遲能量沉積的薄膜XRD半峰全寬變窄.結閤實驗現象和錶徵,閤理解釋瞭高脈遲能量沉積的機理.室溫製備高質量MgZnO薄膜的PLD沉積機理對于以後在柔性襯底上沉積薄膜的研究有重要的參攷價值.
용PLD법성공제비료일계렬고질량적MgZnO박막.실험중발현고맥충능량침적박막적결구화발광특성수기편온도적변화규률여저맥충능량하적결과불일양:기편재실온시고맥충능량제비박막적XRD봉적반봉전관비고기편온도시적결과상대경소;AFM현시기과립변대,주상생장돌출;PL보자봉여록봉강도비최대,결정질량반이제고.령일방면,여저맥충능량시상반,증대양기압강후고맥충능량침적적박막XRD반봉전관변착.결합실험현상화표정,합리해석료고맥충능량침적적궤리.실온제비고질량MgZnO박막적PLD침적궤리대우이후재유성츤저상침적박막적연구유중요적삼고개치.
