激光与红外
激光與紅外
격광여홍외
LASER & INFRARED
2011年
1期
63-66
,共4页
红外探测器%读出电路%打底层%铟柱
紅外探測器%讀齣電路%打底層%銦柱
홍외탐측기%독출전로%타저층%인주
针对超大规模红外探测器读出电路铟柱成球后高度过低导致倒装互连难度增加这一问题,设计了试验,并分析讨论了读出电路铟柱打底层(UBM)形状对铟柱成球高度的影响.得出了铟球高度与铟柱尺寸和铟柱生长高度成正比,与读出电路铟柱打底层尺寸成反比,并提出了进一步增加铟球高度的思路.
針對超大規模紅外探測器讀齣電路銦柱成毬後高度過低導緻倒裝互連難度增加這一問題,設計瞭試驗,併分析討論瞭讀齣電路銦柱打底層(UBM)形狀對銦柱成毬高度的影響.得齣瞭銦毬高度與銦柱呎吋和銦柱生長高度成正比,與讀齣電路銦柱打底層呎吋成反比,併提齣瞭進一步增加銦毬高度的思路.
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