黑龙江大学工程学报
黑龍江大學工程學報
흑룡강대학공정학보
JOURNAL OF HEILONGJIANG HYDRAULIC ENGINEERING COLLEGE
2011年
3期
76-84
,共9页
曹茂盛%路冉%赵全亮%刘红梅%邱成军%袁杰
曹茂盛%路冉%趙全亮%劉紅梅%邱成軍%袁傑
조무성%로염%조전량%류홍매%구성군%원걸
PZT%厚膜%溶胶-凝胶法%MEMS
PZT%厚膜%溶膠-凝膠法%MEMS
PZT%후막%용효-응효법%MEMS
运用混合溶胶-凝胶法制备了具有钛酸铅(PT)种子层的PZT基压电复合厚膜,包括(100)取向PZT压电厚膜,PZT纳米颗粒增强PZT压电复合厚膜((0-3)PZT)和氧化锌晶须增强PZT复合厚膜(ZnOw-PZT).通过结构表征,研究了工艺条件和膜厚对PZT基厚膜的生长、结晶、取向和微结构的影响,给出最佳工艺条件.并介绍了无阀型压电MEMS微泵、Ⅴ型阀式压电MEMS微泵、压电悬臂梁和三压电悬臂驱动的悬浮膜片式MEMS微镜等微器件的性能.
運用混閤溶膠-凝膠法製備瞭具有鈦痠鉛(PT)種子層的PZT基壓電複閤厚膜,包括(100)取嚮PZT壓電厚膜,PZT納米顆粒增彊PZT壓電複閤厚膜((0-3)PZT)和氧化鋅晶鬚增彊PZT複閤厚膜(ZnOw-PZT).通過結構錶徵,研究瞭工藝條件和膜厚對PZT基厚膜的生長、結晶、取嚮和微結構的影響,給齣最佳工藝條件.併介紹瞭無閥型壓電MEMS微泵、Ⅴ型閥式壓電MEMS微泵、壓電懸臂樑和三壓電懸臂驅動的懸浮膜片式MEMS微鏡等微器件的性能.
운용혼합용효-응효법제비료구유태산연(PT)충자층적PZT기압전복합후막,포괄(100)취향PZT압전후막,PZT납미과립증강PZT압전복합후막((0-3)PZT)화양화자정수증강PZT복합후막(ZnOw-PZT).통과결구표정,연구료공예조건화막후대PZT기후막적생장、결정、취향화미결구적영향,급출최가공예조건.병개소료무벌형압전MEMS미빙、Ⅴ형벌식압전MEMS미빙、압전현비량화삼압전현비구동적현부막편식MEMS미경등미기건적성능.
